中古 KLA / TENCOR Alpha Step IQ #9205705 を販売中

KLA/TENCOR Alpha Step IQは、マイクロチップウェーハの重要な電気的および物理的パラメータを測定するために設計された高性能ウェーハ試験および計測機器です。このシステムは、独自の測定アルゴリズムを使用して、高精度で超低不確実性を実現します。このユニットは、高解像度のイメージングマシンを使用して、2Dおよび3Dフォーマットの両方で最大3400 dpiを検査します。これにより、マイクロチップの表面構造と地形に関する詳細な情報を提供することができます。このアセットには、高度な光学顕微鏡も含まれており、オペレータは高倍率のピクセル単位でサンプルをレビューすることができます。高度な自動解析ツールは、リアルタイムプロセス最適化のためのグラフィカルおよび数値トレンド分析を含むオンボードデータ分析を提供します。マシンビジョン検査は、ウェーハ構造の異常を自動的に検出し、懸念領域について報告します。KLA Alpha Step IQには、異なるバッチの複数のウェーハを同時にテストできる高速ウェーハマッピングモデルが含まれています。これにより、シングルウェーハテストと比較して、テスト時間を短縮して出力を増加させることができます。また、ネットワーク内の複数のシステムをリンクするスコープを提供し、複数のオペレータがすべてのシステムの進行を監視する1つの機器と連携することができます。テストプロセスの多数のステップから収集されたデータを保存し、ウェーハテストの詳細な分析のための詳細なレポートを生成するために使用することができます。このシステムには、ガス処理システム、温度プローブ、熱管理ツールなどのさまざまなアクセサリも付属しています。これらにより、測定されたパラメータの精度と信頼性が維持され、プロセスフローからの逸脱を迅速に修正することができます。TENCOR ALPHASTEP IQは、厳格なSEMI C57規格を満たすためにSEMESによって認定された最初の測定ユニットであり、品質とウェーハテストの信頼性の基準を保証します。この認証は、綿密な研究、開発、およびエンジニアリングの結果であり、このウェーハ試験および計測機械の高度な試験能力を証明しています。