中古 KLA / TENCOR Alpha Step IQ #9135156 を販売中

ID: 9135156
ヴィンテージ: 2011
Profilometer, 2011 vintage.
KLA/TENCOR Alpha Step IQは、半導体製造のプロセス監視および分析用に設計された高度なウェーハ試験および計測機器です。光学イメージングと複数のセンサーを組み合わせて、重要な製造ノードのウェーハ上のさまざまな欠陥を迅速に特定して測定します。KLA Alpha Step IQシステムは、ハードウェアおよびソフトウェアコンポーネントを1つのパッケージに統合し、高スループットの大規模生産ロットに包括的な分析機能を提供します。ウェーハの搬送・固定を自動化したハンドリングプラットフォーム、解析に欠陥の画像を取り込む光学センサアレイ、機械の機能を制御するための統合されたエレクトロニクスパッケージを備えています。TENCOR ALPHASTEP IQには、ウェーハ上の2次元欠陥の完全自動検出と分類を可能にする高度な画像処理アルゴリズムが用意されています。このツールは、オンウェーハステップ高さ不安定性、クリティカル寸法(CD)エラー、均一性の欠如などのパラメトリックな不規則性を識別できます。また、オンウェーハ機能を分類し、テストされた部品の故障確率(POF)を計算します。TENCOR Alpha Step IQは、最新の半導体製造に必要な生産監視機能も提供します。リアルタイムの欠陥フィードバックと組み合わせることができ、プロセスのパフォーマンスをリアルタイムで監視することができ、プロセスノード全体のプロセスの安定性に関する情報を提供します。この機能により、アセットは1つのウェーハから次のウェーハまで最適な製品品質を保証し、生産コストを削減し、歩留まりを向上させることができます。全体として、Alpha Step IQモデルは、最新の半導体製造にとって貴重なツールであり、欠陥スクリーニング、プロセス監視、および計測の高度な機能をメーカーに提供します。生産コスト、プロセス制御、歩留まりを最適化する強力なソリューションです。
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