中古 KLA / TENCOR Alpha Step IQ #293682500 を販売中

KLA/TENCOR Alpha Step IQは、比類のない精度と再現性を備えたウェーハ表面特性を測定できる最先端のウェーハ試験および計測機器です。KLA Alpha Step IQは、最先端の特許技術を使用してウェーハをスキャンベッド上に輸送し、レーザーを使用して表面の特徴をナノメートルレベルまで検査およびマッピングします。フォトダイオードは、各測定点からの反射を測定してウェーハ表面の地形を決定するために使用されます。このフォトダイオード測定は、ウェハ表面の3次元「輪郭」マップを構築するために使用されます。このコンターマップは、ウェーハの形状と表面の地形を包括的かつ詳細に表しています。このシステムは、ステップ高さ、プロファイル、曲率半径、傾き、平坦度など、さまざまなウェーハ表面特性を測定することができます。これらの測定の精度は顕著であり、通常、ほとんどのアプリケーションで0。5nm以上の再現性が得られます。TENCOR ALPHASTEP IQユニットは、高度なエレクトロニクスと光学を使用して、非常に高速なスキャンを可能にします。通常、200mmウェーハ全体で測定を完了するのに数秒しかかかりません。また、パワフルな分析機能を備えているため、異なるウェハロットサイズのプロセス結果を簡単に高度な統計分析が可能です。さらに、さらなるプロセス最適化のために、オフライン解析ツールも利用できます。最後に、Alpha Step IQには、専門的な治具やプロービングアームなどの幅広いアクセサリーが含まれており、今日利用可能なウェーハテストおよび計測機器の大部分との測定技術と互換性の柔軟性を可能にします。全体として、ALPHASTEP IQは、高精度の測定を提供し、比類のないプロセス最適化機能を提供することができる汎用性と高性能のウェーハテストおよび計測ツールです。