中古 KLA / TENCOR Alpha Step IQ #293673412 を販売中

KLA/TENCOR Alpha Step IQは、半導体ウェーハの薄膜厚やその他の特性を測定するための自動試験および計測ツールです。この装置は、ミリ角の解像度を持つ高度な干渉計と、表面の高速プロファイリングのためのピンホールダイヤフラムを使用しています。KLA アルファステップIQは、サンプル調製なしでサンプルを測定するように設計されています。それは容易に型抜きの変動、汚染物、粗さ、フィルムの穀物、フィルムの厚さおよび他のsurfacepropertiesを測定できます。このシステムは、He-Neレーザー光源からの赤外線を利用して、充電結合デバイス（CCD）カメラセンサーでキャプチャされた可視干渉パターンを生成します。干渉パターンの解析により、ウェハ特性を正確に測定することができます。TENCOR ALPHASTEP IQで採用された洗練されたアルゴリズムは、1-Dおよび2-D Fast Fourier Transformを使用して干渉フリンジパターンを分析し、ウェーハ表面から界面データを抽出します。これらのデータは、ウェーハ表面の厚さマップに変換され、上層と下層の厚さを決定するために使用されます。ALPHASTEP IQは、薄膜スタック、キャリアウェーハ、MEMSコンポーネントの測定など、重要な計測アプリケーションを可能にする複数のハードウェア構成を提供します。特殊な構成により、立体構造や装置を3軸で測定することも可能です。KLA/TENCOR ALPHASTEP IQは、サブミクロンプロファイルでの表面の高速スキャン測定も可能です。TENCOR Alpha Step IQは、その優れた計測機能により、KLAポートフォリオに貴重な追加です。完全に自動化された性能により、手動測定の必要がなくなり、誤差が低減され、半導体ウェーハの測定効率が向上します。また、手動測定装置に比べてスループットが高く、サイクルタイムが短縮されます。さらに、KLA ALPHASTEP IQは、TENCOR統合ソフトウェアツールとの完全な互換性を提供し、最適化されたデータ分析、自動分析、およびレポート作成を可能にします。