中古 KLA / TENCOR Alpha Step IQ #293647760 を販売中

KLA/TENCOR Alpha Step IQは、半導体ウェーハ上のナノメートルスケールの機能を検査および測定するために設計された自動ウェーハ試験および計測装置です。KLA Alpha Step IQは、3D光学顕微鏡、共焦点顕微鏡、臨界次元走査電子顕微鏡（CD-SEM）、画像解析ツールなどの多数の機能を組み合わせて、迅速で正確で再現可能なウェーハ検査プロセスを実現します。このシステムは、300mmおよび200mmの直径の誘電体および光学マイクロリソグラフィーウエハなど、さまざまなウエハータイプとサイズの処理に適しています。統合された3D光学顕微鏡は、5nmまでの特徴の画像をキャプチャするように設計されていますが、共焦点顕微鏡は3nmまで特徴をキャプチャできます。また、CD-SEMは、高い精度と再現性で重要な寸法（CD）と材料の均一性を測定することができます。また、ウェーハ検査機能を補完する強力なソフトウェアツールも用意しています。ソフトウェアスイートには、多数の高度な画像処理アルゴリズム、強化された欠陥解析ツール、および画像ステッチ機能が含まれています。これらのツールは、データ分析に必要な時間を最小限に抑え、ユーザーの精度と生産性を向上させるように設計されています。TENCOR ALPHASTEP IQには、ウェーハの検査を容易にするように設計された多数の自動化された機能もあります。自動化された光学ナビゲーションにより、スキャンされた画像間のナビゲーションが迅速かつ効率的になります。自動キャリブレーションにより、各イメージングステップがピーク精度で実行されます。さらに、自動ビーム検出とオートフォーカス機能により、各画像が正確かつ徹底的に自動的に焦点を合わせることができます。ALPHASTEP IQは、特定のウェーハにカスタマイズすることもでき、ユーザーに最大限の柔軟性を提供します。カスタマイズ可能なソフトウェア設定により、ユーザーはマシンを特定の要件に合わせて最適化できます。これにより、KLA ALPHASTEP IQは、精密ウェハ検査および測定アプリケーションに最適です。