中古 KLA / TENCOR Alpha Step IQ #293610543 を販売中

KLA/TENCOR Alpha Step IQは、効率的なテスト、プロセス制御、デバイスの特性評価を確実にするために最適化された高スループットウェーハ試験および計測機器です。このシステムは、さまざまなパターンの正確で再現性のある追跡可能な測定を提供することにより、堅牢な製造能力を維持しながら、高度な検査機能を提供します。KLA Alpha Step IQには、最大2つの独立したプロセスチャンバーと高度なソフトウェアアルゴリズムが組み込まれており、重要な寸法やライン/スペース幅などのデバイスの地形を高速かつ正確に測定できます。このユニットは、リソグラフィ、エッチング、フィルム成膜など、さまざまなプロセス工程の迅速かつ信頼性の高い検査を提供します。高度な光学顕微鏡を使用して、TENCOR ALPHASTEP IQは、従来の光学顕微鏡よりも高い精度と速度で表面粗さ、エッチング深さ、CDの均一性、抵抗厚さ、ライン/スペース幅を測定できます。ミラー診断とイメージングは、最高の忠実度の測定を保証するために使用されます。TENCOR Alpha Step IQは、挑戦的なチップ設計においても、比類のない再現性と重要な寸法の精度を実現するクロムレスメトロロジーモードを搭載しています。検査およびプロファイリングデータに適用される高度なソフトウェアアルゴリズムは、堅牢なCD仕様を維持するのに役立ちます。このマシンには、高精度のプロセス制御を保証するための光学オーバーレイ測定も含まれています。これらの機能に加えて、KLA/TENCOR ALPHASTEP IQは、プロセスの結果を完全に把握するために、さまざまなグラフおよび表示オプションを含む高度なレポート機能を提供します。統計的プロセス制御を使用することで、このツールは個々のプロセスの偏差を特定し、プロセス全体を分析することができ、プロセスの潜在的な問題を迅速に分離、調査、対応する手段を提供します。結論として、Alpha Step IQは、ウェーハ処理とデバイス特性評価のための高効率で正確で信頼性の高い方法を提供する高度なウェーハテストおよび計測資産です。このモデルは、臨界寸法やライン/スペース幅から表面粗さ、エッチング深さ、抵抗厚さまで、さまざまなパターンを迅速かつ正確に測定できます。高度なソフトウェアアルゴリズムは、プロセス全体の厳密なCD仕様と分析を維持するのに役立ちます。