中古 KLA / TENCOR Alpha Step IQ #293593018 を販売中

KLA/TENCOR Alpha Step IQは、ウェーハ表面全体の電気特性を自動的に高スループットで測定するウェーハテストおよび計測機器です。統合されたハードウェアとソフトウェアスイートにより、ウェーハの品質を向上させながら、プロセスの最適化時間を短縮できます。KLA Alpha Step IQプラットフォームのハードウェアコンポーネントには、計測ステージ、イメージングモジュール、静電チャック、およびさまざまな照明ソースが含まれています。ステージには、サンプル表面を正確にスキャンするための高精度モーションコントロールユニットが装備されています。統合されたイメージングコンポーネントは、自動焦点調整と波長制御を備えた高精度の光学顕微鏡です。静電気チャックは、ウェハテストのための正確で均一な電気環境を提供します。また、照明源は、ウェーハ表面の電気特性または地形特性を選択的に検出するように設計されています。TENCOR ALPHASTEP IQの測定ツールスイートの測定/テスト/検査ステップは、プロセスエクスカーションの迅速な識別を容易にし、ユーザーはプロセスの問題をトラブルシューティングすることができます。電気、残留電荷イメージング（RCI）、分光反射イメージング（SRI）、原子力顕微鏡（AFM）など、幅広い2Dおよび3D計測技術をサポートしています。電気計測用途では、ツールスイートにより、高分解能トランジスタチャネル長とゲート幅の測定、コンタクトシート抵抗（CSR）測定およびシート抵抗マッピング（SRM）、および電流電圧（IV）および容量電圧（CV）測定が可能です。ソフトウェアスイートは、ウェーハの製造プロセスを自動化および合理化するように設計されています。データ取得、分析、レポート生成など、計測ルーチンの実行を容易にする一連のアルゴリズムとソフトウェアルーチンが含まれています。さらに、ソフトウェアは、パターン認識と分析のための高度なアルゴリズムのセットを備えています。これにより、サンプルのサイズ、形状、電気特性が異なる場合でも、プロセスの異常を迅速に検出できます。さらに、Alpha Step IQプラットフォームは、イーサネットベースの接続、電圧または電流出力用のアナログポート、画像用のパルス出力などの接続オプションを提供しており、ユーザーはツールを任意のオートメーションまたはロボティクスプラットフォームと統合する柔軟性を提供します。アセットの機能をさらに拡張するために、ユーザーは単一のウェーハ分光光度計などのオプションモジュールを追加できます。全体として、KLA/TENCOR ALPHASTEP IQは、高いスループット、精度、信頼性を提供する高度なウェーハテストおよび計測モデルです。包括的なハードウェアおよびソフトウェアコンポーネントにより、ウェーハ製造設備はプロセスの最適化時間を短縮し、プロセスのパフォーマンスを最適化できます。