中古 KLA / TENCOR Alpha Step IQ #193091 を販売中

KLA/TENCOR Alpha Step IQは、半導体産業のために設計されたウェーハ試験および計測機器です。このシステムにより、オンウェーハとスタンドアロンの両方の測定が可能になり、ユーザーはウェーハのプロファイルパラメータを決定できます。デュアルフォーカス光学ヘッドを使用して、高速で高精度な測定を提供します。光学ヘッドは2つの平面を同時に測定し、測定時間を大幅に短縮します。KLA アルファステップIQには、ウェーハの垂直移動用のモーター式のZステージがあります。これにより、機械は広範囲の深さにわたって非接触測定を行うことができます。このツールは、統合されたオートコリメータと非接触光学顕微鏡の両方を備えた、光検出器のユニークな組み合わせを持っています。前者は1ミクロンまでの測定を提供し、後者は数ミリメートルまでの測定を可能にします。TENCOR ALPHASTEP IQは、ウェーハ表面の3次元測定を提供し、プロファイルの高さ、幅、角度の測定を可能にします。この資産は、狭い尾根や深い谷などの小さな特徴を検出することができます。さらに、ウェーハ対称性やプロファイル表面測定に対応する機能も備えています。ユーザーフレンドリーなユーザーインターフェイスにより、ALPHASTEP IQを簡単に操作できます。装置は完全に自動化されており、最大500の標準測定を節約できます。また、収集したデータを数分で解釈できる強力な解析ソフトウェアGraphSchemeがあります。KLA/TENCOR ALPHASTEP IQは、ウエハテストに加え、極端なウルトラバイオレット（EUV）マスク検査やダイバイ（DBD）検査などの計測機能を備えています。DBD検査は、ウェーハ上の各ダイの欠陥をチェックし、より正確なウェーハ特性評価を可能にします。EUVマスク検査は、マスクパターンの欠陥を検出して測定するフォトマスク製造に役立ちます。アルファステップIQには、オートアイリスモニタリングや電源安全窓など、いくつかの安全機能も装備されています。業界をリードする設計により、システムのダウンタイムを最小限に抑えて実行できます。全体として、KLA ALPHASTEP IQはウェーハテストと計測のための強力なツールです。それは効率を高め、時間を節約するためにユーザーによって高められた正確さおよび速度を提供します。