中古 KLA / TENCOR Alpha Step D-120 #293829247 を販売中
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KLA/TENCOR Alpha Step D-120は、半導体ウェーハ上の個々のデバイスの正確で再現可能な非破壊測定を提供するように設計された最先端のウェーハ試験および計測機器です。このシステムは、重要な計測タスクに包括的なソリューションを提供し、製造業者が高価なプロセスのやり直しを削減する正確で信頼性の高い結果を提供することを可能にします。KLA Alpha Step D-120ユニットは、高度な非接触光学測定技術と堅牢な自動サンプル処理を組み合わせています。このマシンは、マスク、トレンチ、ビア、サイドウォールなどのフィーチャータイプの測定に最適な、明るいフィールドおよび暗いフィールド反射イメージングを使用しています。さらに、完全な3Dイメージング技術により測定を行い、ウェハ全体にわたって高精度で深度分解能を向上させます。このツールはまた、集積回路の性能を大幅に低下させることができるウェーハ上の異物を検出する能力を持っています。TENCOR Alpha Step D-120は、高感度の計測アルゴリズムを使用して、10nm未満の粒子を検出することができます。さらに、データを使用して製造プロセスの潜在的な問題を特定し、製品の歩留まり損失を削減することができます。Alpha Step D-120アセットは、ウェーハ全体の抵抗、容量、電圧などの電気特性を迅速かつ正確に評価することができます。これにより、製品の性能や信頼性を犠牲にすることなく、最高品質の基準を満たすことができます。KLA/TENCOR Alpha Stepは、ユーザーフレンドリーなシステム制御ソフトウェアと自動化されたサンプルハンドリングと組み合わせることで、ウェハテストと計測に不可欠なツールとD-120ます。このモデルは、幅広い材料で高分解能、高精度の測定を行うことができ、あらゆるウェーハ上の重要なデバイスパラメータの最大精度を保証します。さらに、装置は、製造のすべての段階で優れた性能、信頼性、再現性を提供し、異なるサイズの生産ラインでの実装のために容易にスケーリングされます。
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