中古 KLA / TENCOR Alpha Step 500 #9257301 を販売中

KLA/TENCOR Alpha Step 500は、半導体メーカーの最高の要求を満たすように設計されたウェーハ試験および計測機器です。それは200mmおよび300mm超軽量のウエハを処理することができます；それは特定のウエハの表面のプロフィールそして次元の正確な測定のための高度の、スリム型の頭部設計を特色にします。KLA Alpha Step 500の正確な測定の源は、3Dオートフォーカスと革新的な特許取得済みの画像認識アルゴリズムを活用してスキャンプロセスの優れた精度を実現する光学センシング技術です。光学技術は、超安定性スキャンステージを備えた高度な機械設計で補完されています。TENCOR ALPHASTEP 500は、あらかじめ定義されたアプリケーションと学習しやすいユーザーフレンドリーなGUIを備えた洗練された自動化ソフトウェアを提供します。また、ユーザーが操作をカスタマイズできる幅広いソフトウェアプログラミングオプションも備えています。これにより、システムは特定の顧客のニーズや要件に合わせて調整することができます。TENCOR Alpha Step 500は、ゲートの高さ、線幅、接触領域、その他の複雑な形状などの複雑な構造を、決定論的な形状認識アルゴリズムによってテストすることができます。これには、高精度の基準画像からビア、スルーホール、トレンチ、およびトレンチの外縁（サイズ）の測定が含まれます。KLA ALPHASTEP 500は、幅広いエッジ検出器と組み合わせて、ステップハイト、薄膜層などの表面特性を測定することもできます。さらに、ウェーハサーフェスの詳細なマップを生成し、スケーリングされたサーフェストポグラフィーのプロフィロメトリーやモルフォメトリーなどのデータを視覚化することができます。さらに、KLA/TENCOR ALPHASTEP 500は、高度なプロセス制御（APC）機能を提供します。自動化されたウェーハ測定や、ウェーハ最適化の際に発生するミスアライメントの修正などがあります。生産管理、密度測定、および歩留まり解析の統計プロセス制御（SPC）の欠陥分類機能も備えています。ALPHASTEP 500は、堅牢で信頼性が高く、費用対効果の高いウェーハ試験および計測機です。その機能により、半導体製造のニーズに最適な選択肢となり、組み込みのソフトウェアオプションと豊富なカスタマイズ機能により、お客様にさらなる価値を提供します。