中古 KLA / TENCOR Alpha Step 500 #9230371 を販売中

KLA/TENCOR Alpha Step 500は、半導体業界のニーズに合わせて設計された自動ウェーハ試験および計測装置です。複数の200mmおよび300mm径ウェーハの厚さ、曲率、光学特性、その他の材料詳細を測定するための高度な光学干渉測定および測定技術を使用しています。KLA Alpha Step 500は、半導体産業を念頭に置いて設計された3軸調整プラットフォームを備えており、さまざまな測定構成のウェハサイズとサンプルに対応できます。同時測定で最大6個のウェーハをサポートし、同時に複数のウェーハをスキャンすることも可能です。システム基盤のレーザーアライメントユニットは、ウェーハとユニットの正確なアライメントを可能にし、ムーバープラットフォームとロボットオートサンプラーは、精密な動きとサンプルハンドリング機能を提供します。本機のコア測定部品は、高精度で高分解能（1nm以下）のサンプルを測定することが可能な統合干渉計です。干渉計の設計は、超精密な位置決めメカニクスと共振周波数技術を組み合わせて、比類のない安定性と精度を実現しています。この干渉計は、最高分解能の測定を可能にし、曲面および凹凸面での収差のない測定を可能にします。また、高度なツールレベルの診断やメンテナンスユーティリティなどの一連の機能もサポートしています。TENCOR ALPHASTEP 500の統合ソフトウェアにより、ユーザーは資産の基本測定モードからプログラマブルモードに簡単に移行でき、幅広いプロセス信頼性と高度な自動テストを提供します。このソフトウェアには、データ分析、分析、トレンドトラッキングなどの機能も含まれています。統合ソフトウェアに加えて、このモデルはまた、ユーザーの特定のニーズに合わせて調整することができ、さまざまなソフトウェアパッケージと互換性があります。KLA/TENCOR ALPHASTEP 500は、正確なウェーハ検査と特性評価に最適なツールです。ハイエンドの性能、統合されたソフトウェア、スケーラビリティを組み合わせることで、あらゆる半導体製造設備にとって強力な資産となります。