中古 KLA / TENCOR Alpha Step 500 #9215920 を販売中

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ID: 9215920
Surface profiler.
KLA/TENCOR Alpha Step 500は、非常に複雑な半導体デバイスアーキテクチャを迅速かつ正確に測定するために設計された高度なウェーハ試験および計測機器です。最新のスキャンプローブ顕微鏡(SPM)技術を使用して、デバイス部品の位置と向きを迅速かつ正確に測定します。KLA Alpha Step 500は、ウェーハ表面の微細な特徴を正確にキャプチャするために、10nmの画像解像度が可能なため、ナノスケールの特徴を測定するのに特に便利です。付属のソフトウェアは、半自動アライメントと高速画像キャプチャだけでなく、強力な画像解析アルゴリズムを提供し、関連するすべての機能を高精度に測定できます。特殊な人間工学とアーキテクチャにより、ユーザーはさまざまなレベルの精度と精度でウェーハを移動できます。冗長エンコーダを備えた高速かつ正確なウェーハステージにより、ウェーハステージの回転配置と変換の面で優れた制御が可能です。TENCOR ALPHASTEP 500を素早く簡単に取り付けることで、迅速なターンアラウンドタイムと生産性の向上を実現します。このシステムは、さまざまなアナログおよびデジタル機器用の自動スキャンおよびイメージングユニットを採用しています。また、特許取得済みのスキャナを搭載しており、非常に微細な解像度と精度を提供するため、通常は測定が困難であったり、他の方法で測定できなかったりするウェーハの詳細を測定することができます。このスキャナは、モーション制御技術を使用して、プラズマや電子ビームリソグラフィー(EBL)ツールで使用されるような正確な位置決めを行います。KLA ALPHASTEP 500は、各サンプルのライブ検査を可能にする高度なビジョンアセットも備えています。これにより、ユーザーは任意の異常を簡単に監視し、トラブルシューティングすることができます。このモデルは、ウェーハ構造のデータ表示とグラフィカル表示を提供します。関連するすべてのデータはハードドライブにデジタルで保存され、将来の分析と参照のためにアーカイブすることができます。また、各ウェーハのデータを総合的に統計分析し、トレンド、歩留まり、その他の重要な指標を決定することができます。要約すると、KLA/TENCOR ALPHASTEP 500は、高度で正確なウェーハ試験および計測システムです。その機能は、ユーザーフレンドリーなインターフェースと組み合わされ、半導体ウェーハ上のナノスケールのデバイスの位置、向き、構造を決定する際の優れた精度と感度を可能にします。複雑な構造やデバイス部品を迅速に測定するための理想的なツールです。
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