中古 KLA / TENCOR Alpha Step 500 #9180951 を販売中
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ID: 9180951
ウェーハサイズ: 6"
ヴィンテージ: 1995
Step height measurement system, 6"
Stylus-based surface profiler
12.5㎛ Stylus
Accurate surface characteristic measurement
With resolution to 1A
Repeatability: 10Å (1s) or 0.1%
With 2D step height metrology profiling
Computer controlled scanning
Data collection
Comprehensive data analysis software
Intuitive user interface
Zoom optics with magnification (70~210X)
Application specific recipes
Multi-scan average mode scans up to 10 times
Averages the scan before print out
Powerful data analysis
With up to 30 standard surface parameters selections
Enables R&D
QA Process control
With step height metrology
Below 50 nm to 300 μm
1995 vintage.
KLA/TENCOR Alpha Step 500は、サンプル地形の高精度な非接触測定を可能にするウェハテストおよび計測機器です。0。1nmの精度の可変スキャン等級を持ち、表面の詳細な理解を可能にします。KLA Alpha Step 500は、450mm×450mmの広い測定フィールドと広範囲の対物レンズを備え、大型ウエハの高速・高分解能測定が可能です。使い慣れたユーザーインターフェイスを備えた使いやすいシステムで、幅広いユーザーがこの技術を効果的に活用できます。TENCOR ALPHASTEP 500は、3次元の特徴の高品質な画像をキャプチャすることができ、小粒子の細かいディテールを分析することができます。このデバイスは、独自の多次元データ抽出を可能にする画像処理ユニットを開発しており、平均高さ、ステップ高さ、平坦度、上昇高さ、表面積、角度、プロファイル幅、表面粗さ、ピーク高さなどの値を提供します。ALPHASTEP 500は、自動化されたサンプル分析のための高度なソフトウェアを使用して、複数の測定データの自動画像セグメンテーションと統合を容易にします。KLA/TENCOR ALPHASTEP 500の高精度と精度、さまざまなニーズや試験パラメータに対応する適応性により、幅広い業界や用途に最適です。小さな透明サンプルから大きな不透明な領域まで、すべての表面特性を検査して測定するだけでなく、バンプやラインなどの高次の機能を使用することができます。半導体業界では、研磨ウェーハ表面の試験、粒界の評価、微細酸化物層の特性評価、欠陥の検出など、さまざまな作業にTENCOR Alpha Step 500が使用されています。また、光学文字認識、形状認識、ラベル検査などの他の作業にも使用されます。全体として、Alpha Step 500は、高精度、再現性、信頼性の高い測定結果を提供する強力なウェーハテストおよび計測ツールです。幅広い企業、学術・研究機関、検査・測定施設に最適です。KLA ALPHASTEP 500は、幅広い機能、使いやすいインターフェイス、高速動作を備えており、ウェーハやその他の表面機能の測定および分析に効果的なソリューションを提供します。
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