中古 KLA / TENCOR Alpha Step 500 #9084578 を販売中

KLA/TENCOR Alpha Step 500は、半導体、光電、マイクロメカニカル部品など、さまざまな材料の厚さ、組成、幾何学的プロファイル、および電気特性を測定するために設計された高度なウェーハ試験および計測機器です。このシステムは、光干渉、赤外分光、静電容量-電圧技術を組み合わせて、幅広い基板上のデータを収集します。KLA Alpha Step 500は、非常に精密な3次元光学フォーカス技術を使用して、ほぼすべての材料の厚さをナノメートルのほんの一部まで精度で測定します。これにより、ウェーハ材料の組成分布と組成分布を同時に測定し、抵抗や電流漏れ特性などの電気特性をテストすることができます。これにより、ユニットは悪いバッチを検出し、ウェーハの粗さのバリエーションを測定することができます。TENCOR ALPHASTEP 500は、高性能赤外線分光計と静電容量電圧データ収集システムを使用して、半導体とオプトエレクトロニクスウエハを特徴付けます。この機械は、シリコンゲルマニウム、窒化ガリウム、窒化ケイ素などの様々な化合物半導体材料システムを識別し、サブモノレイヤー分解能で基板表面組成分布を測定することができます。また、KLA/TENCOR ALPHASTEP 500は、光学視野のリアルタイム位置決めが可能で、層の組成と厚さを正確に測定できます。KLA ALPHASTEP 500は、すべての測定を適切に実行するためにクリーンルーム環境が必要です。このツールは、さまざまなプローブを備えたロボットアームを備えた信頼性の高いオートメーションプラットフォームも備えています。これにより、基板特性の再現可能な測定が可能になり、高スループット解析が可能になります。Alpha Step 500は、材料の研究開発、半導体および光電子製造ラインのプロセスおよび品質管理に最適です。このアセットは、常に縮小し、複雑性の高いマイクロエレクトロニクスコンポーネントの特性評価および分析のための高度なツールでもあります。