中古 KLA / TENCOR Alpha Step 500 #9081303 を販売中

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ID: 9081303
Surface profiler Zoom optics provide magnification: Up to 210X for precise micro measurements Stylus force adjustable: Between 1 and 100mg Scan length: 10mm Resolution: (1) Angstrom Guaranteed repeatability of 10 angstroms 115V, 50/60 Hz.
KLA/TENCOR Alpha Step 500は、故障解析およびサブミクロンプロセス制御用に設計された高性能ウェハテストおよび計測機器です。このシステムは、サブミクロン単位でのウェーハ平坦度、エッジ品質、ウェーハ薄型化、オーバーレイの測定に使用することを目的としています。KLA Alpha Step 500は、レーザー干渉、静電容量、光学技術を活用したマルチセンサプラットフォームを使用して、高精度の測定を提供します。プラットフォームのマルチセンサー機能により、ウェーハ平坦度、プロファイル、オーバーレイ、薄型化、クリティカルな寸法などの複数のウェーハ特性を同時に測定でき、エッジ解析も可能です。TENCOR ALPHASTEP 500はモジュラー設計を特徴とし、ユーザーは特定のアプリケーションやニーズを満たすようにユニットを構成することができます。このマシンには2つのサイズが用意されており、デスクトップ構成は最大20個のセンサー、または最大40個のセンサーを備えた完全な2層構成が用意されています。このツールはまた、統合されたWebブラウザベースのコントロールインターフェイスを備えており、ユーザーは任意のWeb接続デバイスから資産を制御することができます。TENCOR Alpha Step 500は、高度なマルチビームサンプラーを使用して、ウェーハ特性の向上と信頼性と再現性の高い測定を可能にします。ウェーハトレーシング、スキャンレート調整、ウェーハ座標セットなどの高度なアルゴリズムとオートメーション機能により、機器の測定機能がさらに強化され、一貫性のあるデータ収集が可能になります。このシステムは、継続的なパフォーマンスを確保し、コストのかかるサービスコストを削減するために、ユニットヘルスモニタリング用の自動セルフテストルーチンも可能です。KLA ALPHASTEP 500は、サブミクロンレベルで信頼性と再現性の高い測定を提供する業界をリードするウェーハテストおよび計測ユニットです。このマシンは、モジュラー設計とマルチセンサプラットフォームを使用して、ユーザーが特定のアプリケーションやニーズに合わせてツールを構成できるようにします。統合されたWebブラウザインタフェース、マルチビームサンプラー、自動化されたセルフテストルーチンなどの高度な機能により、資産が正確で信頼性の高い結果をもたらすことができます。
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