中古 KLA / TENCOR Alpha Step 500 #9073857 を販売中

KLA/TENCOR Alpha Step 500は、さまざまな半導体材料の超高精度測定用に設計されたウェーハ試験および計測機器です。幅広いデバイス構造を極めて精度の高い測定が可能なため、半導体製造における高度なアプリケーションの重要なプロセス開発および監視に最適です。このシステムには、表面や界面を詳細に検査するための強力な光学顕微鏡、微細な運動制御が可能なステージ、地形特性評価用のスキャンプローブ顕微鏡が装備されています。正確なスキャンとイメージング機能を備えたKLA Alpha Step 500は、欠陥やパターン解析、重要な寸法や形状情報の解決に最適なツールです。このユニットは、半導体アプリケーション用の高度な計測および検査ツールのスイートと統合されています。これには、ノイズとファズフィットソフトウェア、3Dイメージングと分析、および剥離された厚さ推定およびリアルタイムプロセス監視が含まれます。また、現場測定、高分解能表面解析、電気測定、ピーク信号検出などの一連の測定オプションも備えています。このツールと統合されたマルチセンサプラットフォームにより、複雑な半導体構造の正確な特性評価に必要な高感度パラメータを同時に取得できます。アセットの自動制御により、高スループット生産シナリオでも高精度で再現性のあるサンプルを測定できます。TENCOR ALPHASTEP 500は、強力なウェハレベルの機能と業界最高の精度を提供します。デバイス設計、プロセス開発、プロトタイプ製作、プロセス開発、生産プロセスサポートに最適です。TENCOR Alpha Step 500は、半導体製造の最高品質要件を満たすことができるため、あらゆる最先端の半導体メーカーにとって貴重な資産です。