中古 KLA / TENCOR Alpha Step 500 #293809046 を販売中

ID: 293809046
Film thickness measurement system.
KLA/TENCOR Alpha Step 500は、半導体ウェーハおよびデバイスの高速かつ正確なテスト用に特別に設計されたウェーハ試験および計測機器です。これは、デバイスの寸法と性能をテストするプロセスを合理化するために設計されたソフトウェアとハードウェアとともに、最新のツールとコンポーネントの広い範囲を収容する機能ユニットで構成されています。試験システムには、ウェーハ表面のさまざまな欠陥を検出できる2つの独立したAOI (Automated Optical Inspection)システムが付属しています。各ユニットは、0。3 µmまでの機能サイズを検出でき、最小の欠陥でも認識できます。また、複数のプロセス指向の精密測定ヘッドが搭載されており、片面および両面ウェハテストの精度と再現性が向上しています。また、Pin-Point Light Sourceと高度なCCDカメラを使用して正確な欠陥検出を実現する高精度の顕微鏡イメージングツールであるConfocal Inspectorも搭載しています。Confocal Inspectorは、デバイスの低ノイズ3D画像を提供し、さまざまな特性を決定するために分析することができます。このアセットには、ウェーハのエッジなどの測定面に焦点を当てた強化された光学パッケージと、一般的なウェーハパターン認識も装備されています。このパッケージはまた、デバイスの特徴を分析するためのピクセルサイズが0。2 µmまでの高解像度ピクセルフィーチャー解析モデルを提供します。KLA Alpha Step 500は、操作を簡素化し、可能な限り最高の精度を確保するための完全なタッチスクリーンユーザーインターフェイスを備えた高度に自動化されたプロセスです。ソフトウェアには、リモートコントロールオプションも含まれており、任意の場所から完全なリモートプロセス制御を可能にします。全体として、TENCOR ALPHASTEP 500は、半導体ウェーハおよびデバイスを正確かつ再現可能に分析するための強力で信頼性の高い汎用性の高いツールです。自動化された光学検査、共焦点検査顕微鏡、強化された光学などの最先端の機能を備えたこの機器は、ウェーハ試験および計測に最適な結果を保証します。
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