中古 KLA / TENCOR Alpha Step 500 #293794175 を販売中

KLA/TENCOR Alpha Step 500は、ウェハテストと計測のための汎用性と精密な装置です。このシステムは、歩留まり解析、プロセス監視、デバイス特性評価など、半導体製造の幅広い用途に適しています。KLA Alpha Step 500は、最も精密なレーザー干渉計プロファイルを含むKLA AP932計測プラットフォームを備えており、高精度と再現性を提供し、レーザー干渉計と統合されたAFM/SPMプラットフォームを提供します。このプラットフォームは、高精度のオーバーレイ、断面、球面収差測定を可能にします。さらに、TENCOR ALPHASTEP 500には、ウェーハバイウェーハアライメントコントロールが搭載されており、さまざまなサイズや形状のウェーハに対応できます。このユニットの機械的精度と信頼性は、正確な測定結果を保証します。サンプル準備のために、Alpha Step 500を使用すると、ウェーハを自動的にロードおよびアンロードすることができます。この機械には、サンプルセンタリングなどの操作制御が装備されており、サンプル準備を簡素化し、正確な測定結果を保証します。さらに、TENCOR Alpha Step 500は、TENCOR独自のTOPSPINフィルム監視ソフトウェアを含む、組み込みの分析ツールを提供しています。このソフトウェアは、フィルムスタックのさまざまな層から低レベルのフィルム均一データを読み取り、ユーザーに詳細なウエハ分析を提供します。KLA ALPHASTEP 500には、組み込みデータ取得と解釈ツールが組み込まれており、ユーザーは資産の内部データベースにデータを保存できます。このデータベースにより、履歴データへのアクセスが容易になり、統計的なプロセス制御が合理化されます。性能面では、KLA/TENCOR ALPHASTEP 500は0。5nmの空間精度と0。04nmの根平方粗さが可能です。このモデルはまた、高いリフレッシュレートを提供し、1つの測定で再現可能な結果と信頼性の高い自動解析を提供します。ALPHASTEP 500は、デバイスおよびプロセス監視用の汎用性と強力なツールです。その高度な機能、精度、信頼性により、ウェーハテストおよび計測アプリケーションに最適なオプションです。