中古 KLA / TENCOR Alpha Step 500 #293665099 を販売中

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ID: 293665099
Surface profiler.
KLA/TENCOR Alpha Step 500は、半導体業界で使用される薄型ウェーハの平坦度、厚さ、アライメントを正確に測定するために設計されたウェーハ試験および計測機器です。このシステムは、ウェーハのプロファイルを測定するために、光学顕微鏡を利用した自動望遠鏡ビジョニングユニットを採用しています。これにより、機械は高精度の電気および運動計測結果を確実に生成することができます。KLA Alpha Step 500は、Windowsベースのグラフィカルユーザーインターフェイス(GUI)を搭載したメインフレームで構成され、ツールからすべてのデータを受信および管理します。LCDディスプレイを備えた外側向きのコントロールパネルを提供し、ユーザーがリモートでアセットを制御できるようにします。メインフレームは、精密モーションステージ、検査ランプ、フィルタ、リニアスケールなどのハードウェアで構成されています。モーションステージは、ウェーハの高精度で制御された動きを提供するために使用され、光学顕微鏡はウェーハのより小さい特徴を見たり測定したりする機能を提供します。このメインフレームは、顕微鏡からのデータを収集して評価するためのコンピュータビジョンアルゴリズムと組み合わされています。アルゴリズムはデータを解釈し、それをポストプロセスしてからメインフレームに提供して分析します。この分析を使用して、ウェーハの特性の詳細なレポートを作成できます。TENCOR ALPHASTEP 500は、高い精度と再現性で、従来の方法よりも高速な結果を提供します。さらに、費用対効果が高く、操作とメンテナンスが簡単です。これにより、半導体業界のウェーハ試験および計測に最適です。
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