中古 KLA / TENCOR Alpha Step 500 #293660940 を販売中

KLA/TENCOR Alpha Step 500は、最も要求の厳しいウェーハ測定および特性評価用に設計されたウェーハ試験および計測機器です。KLA Alpha Step 500は、高いスループットと正確な計測機能を提供し、半導体プロセスの開発、認定、生産に最適です。このシステムは、可変ステージに搭載された二軸レンズを備えているため、さまざまなサンプルサイズや種類に対応する柔軟性があります。イメージングプレート、16ビットデータ収集ユニット、高解像度リニアモータを搭載しています。TENCOR ALPHASTEP 500は、最大8インチウェーハの直径測定が可能です。トップダウンとサイドビューの両方の統合イメージキャプチャ機能とエッジ検出機能を提供します。ディフェクトシグネチャー分析などの高度な信号処理技術を使用して、ウェーハ表面または製品のエッジの欠陥を正確に特定します。単位は材料の重大な次元、プロフィール、オーバーレイおよび厚さのような変数を測定するのに使用されています。自動化とソフトウェア機能には、2つのユーザーフレンドリーなソフトウェアが含まれています-欠陥画像の画像取得と分析のためのKonicaTMとデータの取得、分析、表示のためのSigma SuiteTM。このツールは、リアルタイムヒストグラム、リアルタイムプロセス制御、データトレンディング、カスタムレポートの生成、シリアル番号によるトレーサビリティも提供します。Alpha Step 500は、クラス最高の光学性能を備えており、フルスペクトラムプロセス機能、高速データ処理、高解像度の垂直プロファイリングおよび測定、100nmの再現性、および高速Z高さ調整など、多くの高度な測定機能を提供します。さらに、この資産は、モデルの信頼性と安全性を向上させるためのIS09000およびESD規格で認定されています。全体的なKLA/TENCOR ALPHASTEP 500は、最先端のハードウェアおよびソフトウェア機能を提供する高度なウェハテストおよび計測機器です。高速で正確で信頼性の高い計測結果を提供し、さまざまな半導体プロセスや生産アプリケーションに適しています。