中古 KLA / TENCOR Alpha Step 500 #180058 を販売中

KLA/TENCOR Alpha Step 500は、半導体製造プロセス制御を最適化するために設計されたウェーハ測定および計測機器です。生産環境と研究開発環境の両方で、ウェーハの重要な地形やデバイス特性を迅速に測定できます。KLA Alpha Step 500は、サブナノメートルの精度、高速パターン認識、さまざまなウェーハ材料を測定する柔軟性を備えています。また、自動化されたタスクを設定できるため、簡単で信頼性の高い操作が可能です。革新的な「Step per Step」技術は、圧電駆動カンチレバーをスキャンヘッドとして使用し、アルミニウム単層の地形とデバイス特性の両方を測定します。サブナノメートル精度で任意のパターンのプロファイルをキャプチャし、移行ステップを追跡できます。さらに、高速応答時間により、表面粗さを迅速に定量化し、プロファイルの傾向を分析することができます。これにより、ウェーハ製造プロセスのインラインモニタリングが可能になります。TENCOR ALPHASTEP 500は、ポリシリコン、化合物半導体、III-V材料などの他のさまざまな半導体材料、ならびに金属合金などのさまざまな種類の材料を測定することができます。これにより、さまざまな種類のウェーハの特性評価が可能になります。高効率モータは追跡力を低減し、任意の光学構造の測定を可能にします。フレキシブルスキャンエリアと組み合わせることで、KLA/TENCOR ALPHASTEP 500はさまざまなウェハサイズとフォーマットに適しています。TENCOR Alpha Step 500は、温度制御環境を監視するための重要なコンポーネントである高解像度ナノスケールのサーマルイメージングシステムを含む、最先端のプロセス制御ツールと容易に統合されています。高度なソフトウェアツールにより、ユーザーはウェーハ全体の測定データを制御および分析することができます。ユーザーフレンドリーなグラフィカルユーザーインターフェイスを備えており、簡単で直感的なユニット操作を可能にします。KLA ALPHASTEP 500は、パワフルで汎用性の高いウェーハ測定および計測機であり、厳しい生産環境でも優れた信頼性の高い結果を提供します。信頼性が高く、正確なウェーハ測定を保証し、幅広いアプリケーション要件に対応する柔軟性を提供します。コスト効率が高く、信頼性が高く、使いやすい方法で半導体製造プロセス制御を最適化します。