中古 KLA / TENCOR Alpha Step 300 #9162861 を販売中

KLA/TENCOR Alpha Step 300は、半導体デバイス製造に使用されるウェーハ試験および計測機器です。KLA Alpha Step 300は「、ブライトフィールド反転顕微鏡」構成で動作する検査ツールで、ユーザーがパフォーマンスと測定速度の両方を最適化できるさまざまな機能を提供します。アルファステップは、自動フォーカスモニタリングとノイズおよび欠陥抑制により、業界をリードする0。5 μ m分解能で検査を提供し、カーボンナノチューブやMEMSデバイスなどの高アスペクトレシオ材料の信頼性の高い分析を可能にします。Advanced Photon CountingとAdvanced Photon Counting Split-Beamテクノロジーは、暗いフィールド環境でも正確かつ再現可能な結果を保証します。アルファステップは、従来のBaumeister光学系よりも有利な独自のクロムオンクォーツ構成を採用しています。これにより、高速で高品質のイメージングが可能になり、量産におけるスループットが向上します。このシステムは、従来の2D測定に加えて3D測定を実行し、より正確な結果を得ることができます。また、最新の製造プロセスで使用される「FinFET」トランジスタを測定するように設計されています。TENCOR ALPHASTEP 300は、ウェハレベルの欠陥計測や生産歩留まり監視に最適です。これは、高度なリアルタイム欠陥解析、サイジング、および重要なパラメータのマッピングのための広い周波数範囲をサポートしています。自動化されたサウンドフレーム解析により、薄膜の厚さを正確に測定できます。このユニットは、大量生産環境のニーズに対応するために、フロントエンドのサンプルローディングなど、さまざまなレベルの高度なオートメーションを備えています。特定のアプリケーションでは、ALPHASTEP 300は、WaferMapperやReticleMapper自動スキャンシステムなどの高度な計測システムと統合できます。これにより、相関性と自動化されたデータ収集が可能になり、スループットの向上、精度の向上、欠陥分解能の向上を実現します。KLA ALPHASTEP 300はまた、さまざまなピッチとサイズのウェーハをロードするためのユニバーサルウェーハハンドラインターフェイスを提供します。プッシュ機能により、負荷とアンロード時にサンプル表面に均一な圧力と温度を適用できます。全体的に、TENCOR Alpha Step 300は信頼性が高く、使いやすいウェーハテストおよび計測機であり、スループットの高い正確で再現可能な測定を可能にし、小規模および大規模プロジェクトの両方に適しています。