中古 KLA / TENCOR Alpha Step 300 #140855 を販売中

KLA/TENCOR Alpha Step 300ウェハテストおよび計測機器は、半導体チップの性能と品質をテストするために半導体業界で使用される自動測定ツールです。ステップハイト、表面粗さ、パターン、線幅、アスペクト比などの重要なパラメータを正確かつ再現可能に測定できます。このシステムは干渉計を使用して、ウェーハのプロファイルを最大300mmの測定範囲で0。5ナノメートルの精度で記録します。これにより、ウエハ形状の微細な変化を検知することができ、製品の品質に大きな影響を及ぼす可能性があります。KLA Alpha Step 300は、正確な位置やサイズなどのパターンを正確に測定するための自動パターン認識機能も備えています。オンボードの光学顕微鏡は、オペレータにウェーハの表面を直接見る機能を強化します。また、自動化されたソフトウェアツールにより、大量のデータを高精度に測定・分析することが可能です。このユニットは、1時間あたり最大200サンプルを測定することができ、時間の経過とともにパフォーマンスを追跡することが容易になるデータストレージとレポート機能を備えています。TENCOR ALPHASTEP 300は機械の性能および機能を高めるために任意部品の範囲と提供されます。オプションの高速、広い視野のリニアスキャナにより、スループット速度は毎時500サンプルに向上します。インテリジェントなテレセンタリングツールは、サンプルを光学ヘッドに自動的に調整し、手動セットアップとスループットの向上を排除します。ユニークな超音波トランスデューサオプションは、不均等な間隔の構造の測定とマルチレベル構造の特性評価を可能にします。ALPHASTEP 300ウェーハテストおよび計測資産は、重要なパラメータを正確かつ再現可能に測定できるように設計された自動測定ツールです。使いやすく、堅牢で信頼性が高く、0。5ナノメートルの精度で毎時数百個のサンプルを測定することができます。オプション部品の配列により、モデルの性能と機能がさらに向上し、製品の最高レベルの品質管理と性能を確保しようとする半導体メーカーにとって理想的です。