中古 KLA / TENCOR Alpha Step 250 #293812642 を販売中

KLA/TENCOR Alpha Step 250は、高精度、広域計測、ウェーハ試験装置である光学プロフィロメータです。フォトリソグラフィ、エッチング、成膜プロセスなどの大面積（最大25m2）のウェーハの2次元パターニング、測定、分析に使用されます。KLA Alpha Step 250は、オートフォーカスのデュアルヘッド構成を利用した高度な非接触光学技術を使用して、高精度で正確なウェハの地形測定を行います。この機器には、電動XYZスキャナと統合されたアダプティブオプティクスが装備されており、非常に安定した測定と自動ウェハマッピングを提供します。さらに、デュアルヘッド顕微鏡の構成により、デュアル波長測定を同時に行うことができ、ユーザー定義のナノスケール分解能の特性を得ることができます。システムは、簡単なセットアップと効率的な操作のために最適化された直感的なユーザーインターフェイスを含む高性能のコントローラプラットフォームによって制御されます。このプラットフォームは、高スループット操作をサポートし、迅速かつ効率的なウェーハマッピングと繰り返しテストまたは測定を可能にします。XYZスキャナからの高速データ取得と処理により、リアルタイム解析とファインスケールイメージングを実現し、計測分析を高速化します。TENCOR Alpha Step 250は、より深い解析のための3D表面再構築も可能です。高さ、幅、半径などのプロファイルパラメータも測定できます。このユニットの高度な光学構成により、エッジ固有の測定に適用できる単一の垂直サイドウォール測定も可能になります。最後に、Alpha Step 250は、ラボとウェーハファブの両方の環境で信頼性と再現性の高いパフォーマンスを提供するために構築されています。自動化されたキャリブレーションプロトコルにより、機械が正確な結果をもたらすと同時に、堅牢な設計により、過酷な環境下でも信頼性とトラブルのない動作を保証します。