中古 KLA / TENCOR Alpha Step 200 #9363076 を販売中

KLA/TENCOR Alpha Step 200は、半導体ウェーハのナノ機械特性を正確かつ効率的に測定できるウェーハ試験および計測機器です。このシステムには、高精度で信頼性の高い高度な機能がいくつかあります。KLA ALPHASTEP 200には、水平（X軸とY軸）および垂直（Z軸）ステッピングスキャナが付属しており、測定ヘッドとウェハに試験面を正確かつ再現可能にアライメントします。これにより、地形、臨界寸法、および表面トポロジの正確な測定が保証されます。これは、2つのスキャンステージを使用します。1つは試験ヘッド用、もう1つはウェーハ用です。ナノスケールなどの細部まで高精度にキャプチャするのに便利です。TENCOR ALPHA-STEP 200には、光学正方形の設定と自動化されたステージを組み合わせた独自の光学正方形オフセットアライメントユニットが搭載されており、手動方式よりもはるかに正確なアライメントが可能です。この精度の向上により、鮮明な画像を解析して、表面フィーチャーの完全な3Dマップを抽出することができます。このマシンには、標準的な明るいフィールド・イメージング、背面照明付きの明るいフィールド、暗いフィールド・イメージングなど、いくつかの画像取得機能が装備されています。これにより、ステップハイトやサイドウォール角度などの表面トポロジーやその他の機能を正確に測定できます。このツールは+/-30µmの広いダイナミックレンジを備えており、さまざまなウェハサイズやジオメトリに便利に対応します。ALPHA-STEP 200には、SigmaPlotなど複数のソフトウェアツールがあり、画像やデータを迅速かつ正確に分析できます。このソフトウェアは、画像操作、画像フィルタリング、画像比較のための使いやすいツールを提供します。この強力なソフトウェアスイートは、データの評価と分析を大幅に簡素化します。このアセットはコンパクトで効率的な設計で、長時間無人で動作するため、ウェーハ測定アプリケーションに最適なソリューションです。このモデルは信頼性が高く、再現性に重点を置いて設計されています。TENCOR ALPHASTEP 200は高精度で、ナノスケールの精度を提供し、正確なウェーハ試験と計測に最適です。