中古 KLA / TENCOR Alpha Step 200 #9315702 を販売中

KLA/TENCOR Alpha Step 200ウェハテストおよび計測機器は、幅広い半導体およびMEMSアプリケーションにおいて高精度で信頼性の高い測定を提供するよう設計されています。KLA ALPHASTEP 200は、高度なVisionソフトウェア対応アルゴリズムと光学システムを使用して、コンパクトで使いやすいパッケージで比類のない精度と速度を提供します。このシステムは、特許取得済みの非接触検査法を備えており、臨界寸法（CD）やオーバーレイマークオフセットなどの重要パラメータの迅速かつ信頼性の高い測定、および表面処理されたウェハの空間的および時間的応答を可能にします。TENCOR ALPHA-STEP 200は、高精度ターンテーブルに搭載された充電結合デバイス（CCD）検出器と複数の検出器を採用し、広い視野を提供します。また、NA （Numerical Aperture）光学設計を搭載し、多波長と多結晶の両方の照明を提供します。高度なVisionアルゴリズムにより、0。5ナノメートルの正確な測定で、非常に高解像度のパターンを検出および検出できます。これにより、薄膜表面と厚膜面の両方の信頼性と精度の高い測定が可能になり、フォトレジスト線、カット、シャープコーナーなどの構造特性を検出および分離することができます。このアセットは、さまざまな機能とオプションを提供しており、さまざまなテストおよび計測ニーズに合わせてカスタマイズすることができます。スキャン倍率、ステップサイズ、フィールドサイズを制御するためのさまざまなオプションが含まれています。ALPHASTEP 200には、高いスループットと効率的なテストを可能にする一連のソフトウェア制御オートメーション機能も搭載されています。要約すると、TENCOR ALPHASTEP 200ウェーハ試験および計測モデルは、半導体およびMEMSアプリケーションにおける重要なパラメータと構造特性を高速かつ信頼性の高い測定用に設計されており、これまでにないレベルの精度と速度を提供します。高度なVisionソフトウェア対応アルゴリズムと高解像度CCD検出器により、サブミクロンレベルでパターンを確実に検出および検出でき、高スループットで効率的なテストを自動化できます。