中古 KLA / TENCOR Alpha Step 200 #9289904 を販売中

KLA/TENCOR Alpha Step 200は、ナノスケール上のウェーハおよびデバイス構造の特性を特徴付けるために特別に設計されたウェーハ試験および計測機器です。このシステムは、走査型電子顕微鏡（SEM）、原子力顕微鏡（AFM）、および表面プロフィロメトリー技術を組み合わせて動作します。高解像度のモノクロイメージングマシンを採用し、堅牢な設計で信頼性と安定した画質を提供します。このイメージングツールには、60kVな二次電子検出器と、光SIM、 SEM、 SEM/AFMなどの幅広いイメージングモードが含まれています。優れた感度、優れた空間分解能、高速パッシブマルチチャンネルコレクションを提供する高効率EDS検出器を使用して、ウェーハの組成を分析します。このアセットは、ウェーハの迅速で非接触イメージングを可能にする自動化されたユーザー定義のサンプルナビゲーションモデルを提供します。また、高速多軸オートフォーカス装置を搭載しており、ユーザーの介入なしに高精度かつ再現性の高い画像処理を可能にします。このシステムは、さまざまなタイプの測定用のイメージングパラメータの自動選択を可能にし、KLAスペクトルおよび偏光ウェハアナライザとの完全な統合を可能にします。KLA ALPHASTEP 200は、ウェーハ特性を向上させるために設計された他の多くの機能を提供します。サブナノメータパラメトリックデータ処理ユニットを提供し、測定精度の向上と自動ウェーハ解析を可能にします。また、スペクトル取得、保存、可視化を最適化することもできます。さらに、このツールには、データを分析し、再現性を決定し、他のシステムと結果を迅速に共有するためのプロセッサとソフトウェアパッケージが含まれています。TENCOR ALPHA-STEP 200は、SEMI、 PIES、 IMECなどの業界標準に準拠しているため、さまざまなアプリケーションに最適です。堅牢な設計と高度な機能を備えたこのアセットは、ナノスケール特性評価のための堅牢で強力なソリューションを提供します。