中古 KLA / TENCOR Alpha Step 200 #9253861 を販売中

KLA/TENCOR Alpha Step 200は、非接触表面および計測分析用に設計された自動ウェーハ試験および計測装置です。このシステムは、自動ウェハハンドリングユニット、AFM （Atomic Force Microscopy）モジュール、光学モジュール、およびソフトウェアで動作します。自動化されたウェハハンドリングマシンは、直径200mmまでのウェハに対応するように設計されており、ロボットアーム機構とオートフォーカシングツールを使用しています。これにより、幅広いウエハサイズや素材に適しています。AFMモジュールは、ウェーハの表面解析や3Dイメージングおよびマッピングに使用されます。モータ駆動の2軸ステージで構成され、顕微鏡とコントローラを内蔵しています。高解像度・高精度の精密表面測定が可能です。光学モジュールは、接触および非接触表面解析の両方のために設計されており、高解像度のイメージング資産も内蔵されています。膜厚、面粗さ、その他水晶マイクロバランスなど様々な計測パラメータを測定することができます。また、共焦点顕微鏡やダークフィールド顕微鏡などの分析・光学測定技術も可能です。機器に関連付けられたソフトウェアは、強力な画像解析、レポート、およびデータベース機能へのアクセスをユーザーに提供します。それは異なった適用および使用法のために適している複数の測定モードを提供します。解像度、サンプリング領域、速度、コントラストオプションなどのソフトウェアパラメータを選択できるため、このシステムは非常に汎用性が高くなります。KLA ALPHASTEP 200は、信頼性の高い正確なウェーハテストと計測ユニットをユーザーに提供します。自動ウェーハ処理、AFMモジュール、光学モジュール、強力なソフトウェアを組み合わせることで、ユーザーは表面解析、3Dイメージング、化学特性評価、およびフィルム測定などの幅広いテストを実行できます。この機械は研究および産業レベルの適用の両方のために適しています正確なウェーハの測定を遂行することを捜すあらゆる実験室のための大きい選択を作ります。