中古 KLA / TENCOR Alpha Step 200 #82924 を販売中
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KLA/TENCOR Alpha Step 200は、半導体製造および検査に使用するために設計されたウェーハ試験および計測機器です。このシステムは、ダイステッパー、統合されたカメラとフォトメトリックユニット、およびCCDイメージングデバイスで構成されています。KLA ALPHASTEP 200は、高精度で再現性のある複数の解像度でサンプルの非接触ステップアンドスキャン表面計測マップを作成できます。6mm x 6mm以上の画像領域が可能です。ダイステッパーは、電動XYZステージを使用して、機械内のサンプルの正確な位置決めを可能にし、統合されたカメラとフォトメトリックツールは、サンプル表面の可視化を可能にします。CCDイメージング装置は、サンプルの様々な画像を取得するために使用され、サンプル表面の非常に正確な地図を生成します。これらの画像は、ステップの高さ、角度、距離、およびその他のさまざまなパラメータなどの特徴を測定するために使用されます。このアセットには、自動化された表面計測を可能にするために、さまざまなプローブとアクセサリが装備されています。TENCOR ALPHA-STEP 200は、シングルポイント、高解像度、大面積スキャンなど、スキャンとマッピングのためのさまざまなオプションを提供します。このモデルはサードパーティ製ソフトウェアとのシームレスな統合も可能で、他のプラットフォームやシステムとの互換性が可能です。TENCOR ALPHASTEP 200装置は、半導体製造および検査プロセスに使用するために設計されており、高いスループットでサンプルを再現可能かつ高精度に測定できます。このシステムは操作が簡単で、単一のスキャンでさまざまな機能を見つけてマッピングする際の柔軟性と正確性を提供します。ユニットはまた、特定の要件が含まれている生産環境で満たされていることを確認するのに役立ちます。
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