中古 KLA / TENCOR Alpha Step 200 #293827697 を販売中

KLA / TENCOR Alpha Step 200
ID: 293827697
ウェーハサイズ: 4"
Surface profiler, 4" Silicon Carbide (SiC).
KLA/TENCOR Alpha Step 200は、ウェーハ表面の高速かつ信頼性の高い測定を提供するように設計されたウェーハ試験および計測機器です。具体的には、KLA ALPHASTEP 200は、3。5nmと小さい欠陥や特徴を含む幅広い材料および特徴の正確な地形特性を提供します。TENCOR ALPHA-STEP 200は、反射計ベースのスキャンヘッドユニット、垂直位置決めシステム、サンプルマウント、コントロールコンソールなど、いくつかの主要コンポーネントで構成されています。垂直位置決めユニットは、スキャンヘッドユニットの精密な調整を可能にします。これは、表面特性を正確に評価するためには、ウエハ表面のミクロン以内でなければならないため、正確な測定を行うために重要です。スキャンヘッドユニットは、サンプル表面の地形情報を検出するために使用される光学センサーの配列で構成されています。ユニットをサンプル表面に移動すると、光学センサーは制御コンソールに情報を送信し、リアルタイムで表面特性を記録します。データを3次元画像に変換することで、解析や解釈が容易になります。サンプルマウントはサンプルを固定するために使用され、スキャンヘッドがそれを通過するにつれてサンプルを維持します。通常、マウントは真空チャックで構成されており、幅広いサンプルサイズと形状をテストすることができます。最後に、制御コンソールはAlpha Step 200の操作を制御するために使用されます。これは、マシンのセットアップ、スキャンと測定プロセスの調整、および結果のデータの収集と分析のためのユーザーフレンドリーなインターフェイスを提供します。要するに、ALPHASTEP 200は、ウェーハの表面特性を迅速かつ正確に測定および分析するために探している人にとって貴重なツールです。その汎用性の高い設計と正確な機能により、パワフルで信頼性の高いウェーハテストツールとなります。
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