中古 KLA / TENCOR Alpha Step 200 #293792665 を販売中

ID: 293792665
Surface profiler Step height standard ranges: 17.48 KÅ 1.38 µm VLSI Step height standard ranges: 17.46 KÅ 1.735 µm Trace range: 10,000 µm Stylus arm Drive belt LVDT Memory Speed control CPU Boards Linear bearings with tri-flow oil PC.
KLA/TENCOR Alpha Step 200は、ウェーハ表面のプロファイル、平坦度、ステップ高さを測定するために設計されたウェーハ試験および計測機器です。共焦点画像技術とレーザー三角測量技術を利用して、ウェハのプロファイルと高さを非常に正確に測定します。システムのレーザーは最大200µmのステップ機能を備えており、微細な表面特性と小さなステップ高さを正確に測定できます。KLA ALPHASTEP 200は、Z軸に沿ってウェーハを移動させ、レーザーをウェーハ表面の平面に正確に移動させるモーター式リニアステッパーを備えています。レーザーの表面に対する位置を測定することにより、ウエハの前後側面のプロファイルをマッピングすることができます。さらに、ウェーハ全体の厚さと平坦度、複数のダイ間のバリエーションを測定できます。TENCOR ALPHA-STEP 200には、ウェーハの両側を同時に測定できる特許取得済みの偏光機能も搭載しています。これにより、スループットが向上し、機械の精度が向上します。さらに、このツールには高度なパターン認識と修復アルゴリズムが含まれており、困難な材料で正確な測定を保証します。ALPHASTEP 200にはユーザーフレンドリーなタッチスクリーンインターフェイスがあり、ユーザーは迅速かつ簡単にテストパラメータを設定し、テストプロセスを監視することができます。さらに、KLA METboard Softwareと互換性があり、ユーザーはテストの結果を視覚化し、データを保存し、レポートを生成することができます。これにより、ユーザーはテスト結果をすばやく解釈して分析することができます。全体として、KLA/TENCOR ALPHA-STEP 200は信頼性が高く正確なウェハテストおよび計測資産です。その高速レーザーステップとパターン認識機能は、ユーザーフレンドリーなインターフェースと高度なソフトウェアと組み合わされ、半導体ウェーハのプロファイル、平坦度、ステップハイトを測定するための理想的なツールとなります。
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