中古 KLA / TENCOR Alpha Step 200 #293746497 を販売中
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KLA/TENCOR Alpha Step 200ウェハテストおよび計測機器は、精密寸法計測、表面仕上げ解析、定性電気測定のための高性能な計測プラットフォームです。ナノメートルスケールの精度で計測データを提供するために設計されたこのシステムは、半導体の製造、デバイスの特性評価、プロセスの最適化に最適です。KLA ALPHASTEP 200は、レーザー干渉測定技術を使用して、重要寸法を含む顕微鏡構造の表面特性および特徴を高精度に測定します。最大10Xの解像度で40nm〜100µmの構造解析が可能です。また、従来の光学技術よりもはるかに高速で、最大6cm2/秒の非常に高速なスキャン速度を実現できます。TENCOR ALPHA-STEP 200は、酸化深度、エッチング深度測定、漏れ電流、接触抵抗、モアレ測定などの定性電気測定も行います。さらに、RMSやピークツーバレーなど、さまざまな測定モードを提供しています。すべてのデータは大容量ハードドライブに保存され、簡単に分析および共有できます。TENCOR ALPHASTEP 200は、複雑な生産環境にシームレスに統合され、パフォーマンス、精度、再現性、使いやすさの優れた組み合わせを提供します。直感的なユーザーインターフェイスと、レシピ作成やデータアーカイブなどの自動ツールで設計されています。さらに、ステッププローブの先端から直接利用可能な様々な測定技術は、非常に正確なウェーハレベルの測定を提供します。結論として、ALPHASTEP 200は、高性能な計測、精密測定、および柔軟なソフトウェアの非常に強力な組み合わせを提供します。このツールは、測定速度、精度、再現性の優れた組み合わせを提供するため、生産環境に特に役立ちます。
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