中古 KLA / TENCOR Alpha Step 200 #293671323 を販売中
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ID: 293671323
Profilometer
Computerized surface profiling incorporating TENCOR Instrument
Programmable X, Y Stage option provides automatic measurements
Programmable X, Y Stage-motorized movement
Up to 9 User-programmable stage positions
Real-time analysis-computer calculation
Continual display for delta average
High resolution-routinely measures below 200 A
5 A of Vertical resolution
400 A of Horizontal resolution
Video micro-scope zooms from 40X to 120X
Optional 90X to 270X
High power and 12X to 36X low power magnifications
CRT Display plus integral thermal printer
Built-in internal shock isolation
Digital data handling
Information display.
KLA Alpha Step200は、最先端のウェーハ試験および計測機器です。ウェーハテストと計測において、最高レベルの精度と再現性を提供するように設計されています。このシステムには、高度な自動光学検査(AOI)機能、サブアングストロームのステップ高さ測定ユニット、および幅広いウエハおよびチップ特性評価アプリケーションをサポートする一連のソフトウェアツールが含まれています。KLA/TENCOR Alpha Step 200は、特定のメーカーのニーズに合わせてカスタマイズできるモジュール設計を採用しています。この汎用性の高いマシンには、高解像度のCCDカメラとLED照明が装備されており、ウェーハやデバイスの精密な光学検査を提供します。内蔵の直感的なソフトウェアにより、ツールからのデータの監視、分析、保存が簡単になります。KLA ALPHASTEP 200のコアは、サブアングストロームのステップ高さ測定ツールです。このツールは、高度なナノ位置決め技術を使用して、利用可能な最も正確なステップ測定値を提供します。統合ソフトウェアアセットを使用すると、サブアングストロームのステップ高さ認識アルゴリズムを使用して、0。05nmのステップを迅速かつ正確に評価できます。TENCOR ALPHA-STEP 200の汎用性は、研究と生産の両方でさまざまなアプリケーションに最適です。このモデルは、高度なウェーハ特性評価、欠陥解析、高度な計測に使用できます。また、半導体、MEMS、 RF回路からナノ構造など幅広い製品に対応しています。精度と再現性がALPHA-STEP 200の重要な特徴です。これは、1つのangstrom以上のデータ解像度を達成するように設計されています。精密な光学検査とサブアングストロームのステップ高さ測定の組み合わせにより、ユーザーは高精度の測定を取得し、最も小さな特徴と欠陥を特定することができます。さらに、高度なソフトウェアスイートにより、自動データ出力、迅速なプロセス改善分析、プロセスレシピの評価が可能になります。KLA/TENCOR ALPHASTEP 200の強力なソフトウェアにより、さまざまな欠陥データや計測関連データを管理、整理、保存することができます。これにより、ユーザーはウェーハテストと計測タスクをカスタマイズして最適化できます。要約すると、KLA Alpha Step 200は、最も要求の厳しいウェーハテストおよび計測アプリケーションに精度、再現性、精度を提供する最先端の機器です。
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