中古 KLA / TENCOR Alpha Step 200 #293652814 を販売中

KLA/TENCOR Alpha Step 200は、さまざまな半導体材料の迅速かつ正確なテストを提供するように設計された洗練されたウェーハ試験および計測機器です。このシステムは、平坦度、表面形状、トレンチ深さ、ICコーナーエッジ面取りおよびプロファイル、オーバーレイ、サイドウォール角度、フォームファクタ、エッジ粗さなど、ウェーハの直接物理的および化学的分析に関する包括的なパラメータを提供する完全自動化ソリューションです。自動化されたx-yステージの周りに構築されたKLA ALPHASTEP 200は、ウェーハ材料の物理的および電気的特性を正確に測定するために表面ポイント解析を利用しています。その結果、さまざまな産業プロセスにわたるウェーハの包括的なテストを提供し、製品が要件を満たし、迅速かつ安全に提供されることを保証します。TENCOR ALPHA-STEP 200は、光センシングシステムとピエゾの2つのセンシングシステムを提供します。その光学単位は高度の磁気およびレーザーの技術を特色にする革新的な三波長センサーです；したがって、サイドウォール層プロファイル、トレンチエッジ面取り、フォームファクタ、ライン幅、その他の重要なジオメトリおよびエッジ粗さを正確に特徴付けることができます。2つ目のセンシングマシンであるPiezoは、KLA ALPHA-STEP 200を使用してウェハマイクロ構造を解析できます。エアベアリング面を利用して、小さな表面特性をキャプチャすることで、オーバーレイ精度、ライン、幅、ルール空洞など、さまざまな特徴を検出することができます。さらに、シート抵抗、接触抵抗、接合部深度などの電気特性を試験することができます。TENCOR Alpha Step 200は、ウェーハを迅速に評価および分析する機能を提供するさまざまな自動機能も提供します。このアセットにはパターン認識アルゴリズムが含まれており、欠陥を自動的に特定し、位置を分析し、位置とクラスを示し、適切な是正措置を開始できます。さらに、テストデータのライブラリを提供しており、テストマテリアルと比較して、仕様を確実に満たしています。これにより、ユーザーはより迅速に正確な結果を得ることができ、時間とコストを節約できます。要するに、TENCOR ALPHASTEP 200は、ウェーハ材料の直接物理的および化学的分析のための包括的なパラメータを提供する強力なウェーハ試験および計測機器です。2つの高度なセンシングシステムとさまざまな自動機能を備えたこのシステムは、製品の認証と安全な配信を確実にするために、さまざまな産業プロセスを迅速に評価および分析することができます。