中古 KLA / TENCOR Alpha Step 200 #293644262 を販売中

ID: 293644262
Profilometer.
KLA/TENCOR Alpha Step 200は、ウェーハ品質の分析、特性評価、最適化において最高レベルの精度をユーザーに提供するために設計された包括的なウェーハテストおよび計測機器です。このシステムは、多種多様な基板上のさまざまな特性を同時に監視、画像、測定する機能を提供する最初のものです。複数のビューモードを備えており、1つのイメージングプラットフォームで基板のさまざまな側面を検査、測定、分析できます。このユニットは、幅広いウェーハメトロロジー操作を可能にする自動化されたハイエンド機能を備えています。これは、3つのイメージングモードを持っています-レーザーラインスキャン(LLS)は、表面トポグラフィーマッピングを可能にします。フーリエ変換赤外分光法(FTIR)は、非常に詳細なウェーハ組成解析を可能にします。また、ホワイトライト干渉計は、ナノメートルレベルの解像度のイメージングと測定を可能にする3Dイメージングを提供します。Focus Variationやon-Spot Adjust Focusなどの高度な測定機能により、ウェーハの表面をストレスやステップの高さを測定することができます。さらに、このマシンはさまざまな品質管理アルゴリズムとレポート機能を提供し、ユーザーが基板の品質を監視および向上させるのに役立ちます。このツールは、高精度で5nm以下のピクセルピッチを達成することができ、その操作で非常に効率的かつ正確です。また、幅広いダイナミックレンジ設定を提供しているため、ユーザーは結果を最大化し、生産歩留まりを正確に追跡できます。このアセットは、ハイブリッドイメージング技術と強力なハードウェアアーキテクチャによって実現される優れた測定精度と精度を備えています。Contrast Enhanced Edge Analysis (CEEA)やFocus Metrologyなどのハイエンドツールは、優れたパフォーマンスを提供しながら、モデルの計測機能を強化します。さらに、高度な自己較正オートフォーカスにより、さまざまなウェーハで正確な結果が得られます。この機器は、操作のすべてのステップを通じてユーザーを導くシンプルで直感的なグラフィカルユーザーインターフェイスで、ユーザーフレンドリーで使いやすいように設計されています。自動検査設定やスキャンパターン選択など、いくつかの組み込み機能により、ユーザーは時間と労力を節約できます。さらに、ウェーハの輪郭図や立体輪郭図など、さまざまな視覚化ツールを提供し、異なる基板の性能を比較することができます。全体として、KLA ALPHASTEP 200は、効率的で正確で強力なウェーハテストと計測ソリューションをお探しのユーザーに最適なユニットです。堅牢な機能と機能を備えたこのマシンは、幅広いウェーハテストおよび計測アプリケーションに適しています。
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