中古 KLA / TENCOR Alpha Step 200 #293616223 を販売中
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KLA/TENCOR Alpha Step 200は、ウェーハ表面を迅速に測定するために設計されたウェーハ試験および計測機器です。このシステムは、最大数ナノメートルの表面パラメータを測定することができ、表面粗さと表面トポグラフィーを迅速かつ正確に測定することができます。独自の単点測定技術を採用し、これまでにないスピードと精度を実現しています。KLA ALPHASTEP 200は、ウェーハ表面をスキャンする2つのレーザービームを使用しています。高出力レーザーは、表面上の単一点または線形または円形のスキャンパスに沿って高さを測定します。2番目のリファレンスレーザーはウェーハのプロファイルを測定し、粗さ、曲率、表面の質感、ステップハイトなどの表面パラメータを控除することができます。また、内蔵のオートフォーカスマシンを搭載しているため、曲面測定時の手動フォーカスが不要です。このツールには、測定プロセスを制御し、データを分析し、カスタムレポートを作成するためのさまざまなソフトウェアプログラムも装備されています。ソフトウェアは、詳細なレポートを作成することができ、ウェーハ表面特性の包括的な分析を提供します。また、ウェーハ表面プロファイルを時間経過とともに比較することができ、ウェーハ表面特性の変化を時間経過とともに観察することができます。TENCOR ALPHA-STEP 200は、粗さ、ステップ高さ、表面形状、表面テクスチャなど、さまざまな表面パラメータを測定することができます。このアセットは、基板、半導体ウェーハ、金属表面など、さまざまな材料を測定することができます。KLA/TENCOR ALPHA-STEP 200は、高速かつ高精度で生産ラインの品質を管理し、製品の一貫性と精度を確保するための優れたツールです。
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