中古 KLA / TENCOR Alpha Step 200 #293590192 を販売中

KLA/TENCOR Alpha Step 200は、半導体製造プロセス向けに設計されたウェーハ試験および計測機器です。故障解析、プロセス最適化および開発、およびプロセス制御のための半導体基板の重要寸法と地形の正確な測定を提供します。このウェーハ検査システムは、非接触光計測技術を利用してさまざまな測定を行います。ウェーハ全体のCD（クリティカル寸法）を0。3umの解像度まで測定できます。干渉測定技術を使用して、高さ、表面粗さ、CDの均一性、およびプロファイル測定を提供します。さらに、KLA ALPHASTEP 200はマルチチャネルユニットであり、1つの基板または複数の基板でさまざまな測定を同時にシーケンスすることができます。TENCOR ALPHA-STEP 200は、ウェーハエッジプロファイルを高速かつ高精度に測定するためのデュアルステージ自動スキャンも備えています。これらの測定は、ウェーハの平坦性、裏側ワープ、およびウェーハのエッジに関連するその他の特性を決定するために使用されます。さらに、このマシンは、微粒子、汚染物、またはプロセスルールに違反するその他の機能など、ウェーハの欠陥や異常を検出することができます。この機能は、故障解析とプロセス最適化に不可欠です。KLA/TENCOR ALPHA-STEP 200にはSmartAlignテクノロジーも搭載されており、測定プロセス中に基板の変形、ずれ、バイアスを自動的に見つけて補正します。これにより、より高いレベルの測定精度と再現性が保証されます。さらに、このツールは何千もの測定プログラムを保存することができ、ユーザーはさまざまなテストシーケンスをすばやく簡単に切り替えることができます。ALPHASTEP 200には、ユーザーフレンドリーなウェーハ検査ソフトウェアパッケージが含まれています。このソフトウェアを使用すると、オペレータは特定のプロセスの測定データを制御、構成、分析、保存できます。また、結果のカスタマイズ可能なレポート作成と分析を可能にし、生産プロセスのパフォーマンスに関する洞察を提供します。KLAアルファステップ200は高度に自動化されており、オペレータの時間を節約します。24時間365日の生産環境での使用を想定して設計されており、敵対的な状況でも信頼性とパフォーマンスを提供します。優れた精度、マルチチャネル機能、SmartAlignテクノロジーにより、半導体業界にとって理想的なソリューションとなります。