中古 KLA / TENCOR Alpha Step 200 #293588045 を販売中

KLA/TENCOR Alpha Step 200は、製品開発、プロセス監視、および技術移転をサポートする高速かつ正確なデータを提供するように設計されたウェーハテストおよび計測機器です。このシステムは、シリコン、サファイア、セラミックなどの幅広い基板のインラインテスト、プロセス制御、欠陥分類の最先端の機能を提供します。アルファステップ200は、2つのデュアルビームレーザースキャナー、変位ステージ、レーザー高さセンサー、超高精度モーター回転ステージを備えた統合計測ユニット、および統合された光学マシンを含みます。2つのデュアルビームレーザースキャナにより、ステップハイト、フィーチャーエッジ、ラフネスなどの表面およびサブサーフェスフィーチャーを正確に測定できます。ウェーハ全体のマッピングにより、これらの機能を空間的に配置し、正確に測定することができます。変位ステージは、サンプル上のレーザービームの正確なナビゲーションを保証し、KLA ALPHASTEP 200の精度と再現性を提供します。レーザー高さセンサは垂直（またはスキャン）軸を定義するために利用されますが、統合された測定ツールには高精度の回転アクチュエータが含まれ、電動回転ステージはサンプルの連続的な3次元解析を提供します。最後に、統合された光学アセットは、透過光観測、暗視野イメージング、蛍光イメージングなど、さまざまな分析技術の追加の柔軟性とスイートを提供します。これにより、TENCOR ALPHA-STEP 200は、地形の高解像度取得、欠陥検出、組成分布など、サンプルの詳細な特性評価を提供することができます。KLAのTENCOR Alpha Step 200は、インラインテスト、プロセス制御、欠陥特性評価のための信頼性が高く、正確で費用対効果の高いソリューションをお探しのお客様に最適なソリューションです。デュアルビームレーザースキャン、高精度の電動回転ステージ、および包括的な光学モデルを組み合わせることで、プロセス監視、技術移転、開発のための迅速かつ正確で包括的な結果を保証します。