中古 KLA / TENCOR Alpha Step 100 #293606740 を販売中

KLA/TENCOR Alpha Step 100は、半導体研究開発研究所、産業用エレクトロニクス製造、および関連アプリケーションで使用するために設計された「ウェーハ試験および計測」装置です。これは、高度な接触ベースの表面プロファイル測定、非接触光学クリティカル次元（CD）イメージング、非接触トポグラフィ計測を単一の自動プラットフォームで組み合わせています。このシステムは、手動スキャンと自動スキャンの両方をサポートしており、表面形状、粒度、断面形状、ウェハ形状、エッジベベリング、オーバーレイ、およびマイクログラフデータの測定と分析を可能にします。KLA Alpha Step 100には、接触スキャン、非接触トレース、ストレスリリーフ測定、ラメライメージングなど、表面プロファイル測定のさまざまなオプションがあります。接触スキャンモードは直接接触によってサンプルの表面を測定し、非接触トレーシングモードは直接接触せずに高解像度の表面プロファイルを取得します。さらに、ストレスリリーフオプションは、熱処理、機械処理、または化学処理を受けたサンプルの応力誘発形状変化を正確に測定します。Lamellarイメージングモードを使用すると、アルミニウム材料の粒度分布を測定できますが、異方性測定モードはさまざまな表面条件下で異方性の測定を提供します。光学CDイメージングの場合、TENCOR Alpha Step 100はMetrotool、 Wafertool、 Spyglass、 Lottolkitなどの複数のソフトウェアパッケージを備えています。これらにより、ゲートジオメトリ、線幅と空間幅、断面プロファイル、オーバーレイデータなどのプロセス機能の非接触イメージングが可能になります。地形計測機能は、干渉計、光学コヒーレンストモグラフィー（OCT）、共焦点顕微鏡などの高度な非接触技術を使用して、高分解能のサンプル形状と表面を測定します。このユニットは、エッジベベリングやその他の複合機能の自動検出と測定も提供します。Alpha Step 100は、さまざまな測定機能に加えて、ユーザーが選択したエッジ検出、自動粒子解析、自動画像ステッチとタイル、偽色再構築など、さまざまな自動データ処理機能を提供します。このマシンの自動スキャン機能により、迅速かつ正確なデータ収集が可能になり、直感的な制御ソフトウェアにより、ユーザーはすべてのハードウェアおよびデータ収集機能を簡単に制御できます。全体的に、KLA/TENCOR Alpha Step 100ツールは、ウェハテストおよび計測目的で信頼性の高い正確な測定を提供します。これは、単点および複数点検のための汎用性が高く、使いやすく、費用対効果の高い資産です。