中古 KLA / TENCOR Aleris Hx8500 #9281738 を販売中
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ID: 9281738
ウェーハサイズ: 12"
ヴィンテージ: 2008
Film thickness measurement system, 12"
2008 vintage.
KLA/TENCOR Aleris Hx8500 Wafer Testing&Metrology Equipmentは、高度な自動光学検査(AOI)、欠陥レビュー、および非破壊検査ソリューションで、包括的な高度な検査機能を提供します。このシステムは、コンパクトなフットプリントで最高レベルのスループットを実現するように設計されています。このユニットは、最大直径8インチのウェーハで動作し、試験面積は最大3フィートです。KLA Aleris Hx8500は、2次元イメージングマシンを使用して、直径8インチまでのウェーハのパターンを検査します。高解像度の画像を取得し、ディジタルレンズを使用して、小さな特徴と基板全体の両方の測定をサポートします。高度な照明ツールは、線幅、形状、深さ、およびアライメントの傷、穴、および欠陥など、さまざまなウェーハ欠陥を検出するためのさまざまな光学構成を提供します。TENCOR Aleris Hx8500は、ウェーハデータをキャプチャしてレビューする強力な検査エンジンも備えています。また、信頼性の高い品質管理の意思決定をサポートするために使用できる統計画像解析ソフトウェアも提供しています。使いやすいインターフェースにより、検査を素早くセットアップおよびカスタマイズでき、ワークフローの自動最適化により検査効率を最大限に高めることができます。このモデルはまた、特許取得済みの自動テストプログラム検証、ガードバンド最適化、パラメトリックテストプログラムの生成、パラメトリックスキャンおよびフェイルリテンション、パターン欠陥検出および解析など、包括的なウェハテスト機能を提供します。これらの機能は、コンパクトなパッケージで最も高度で正確なウェーハテスト機能を提供するように設計されています。ウェーハの試験結果を確実にするために、自動欠陥サイト登録、登録欠陥画像キャプチャ、フルサイズ画像キャプチャ、フルウェーハ検査などの機能も備えています。さらに、このシステムはオプションのAutoRX内蔵キャリブレーションユニットを備えており、正確な測定結果を保証します。最大の効率性を確保するために、このマシンには、集中データベース、データロギングツール、レポート資産などの一連のデータ管理ツールも装備されています。これらの機能により、ユーザーは簡単にテスト結果を追跡し、レポートを生成し、組織化されたウェーハデータアーカイブを維持することができます。Aleris Hx8500 Wafer Testing&Metrology Modelは、ウェーハの欠陥を検査および評価するための効果的で費用対効果の高い方法を提供するように設計された高度なウェーハテストソリューションです。機器の包括的な機能セットは、信頼性の高いテスト、効率的なワークフローの最適化、およびデータ管理機能を提供し、品質管理と欠陥分析のための貴重なツールとなります。
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