中古 KLA / TENCOR Aleris HX #9407132 を販売中

KLA/TENCOR Aleris HXは、さまざまな種類のウェーハの高性能検査、テスト、および特性測定結果を提供するように設計されたウェーハ試験および計測機器です。精密光学顕微鏡、自動化されたサンプルステージ、強力な解析ソフトウェアで構成されています。単位内の精密光学顕微鏡は全体のウェーハの表面または個々の場所のイメージを捕獲できる統合されたイメージ投射機能を提供します。この顕微鏡は、5倍から100倍の倍率範囲で、ひび割れ、空隙、欠陥などの欠陥を分析することができます。この顕微鏡はまた、測定目的のための非常に詳細な画像を生成する単一のサイトの焦点画像をキャプチャすることができます。機械の自動化されたサンプルステージは、信頼性の高いウェーハ処理と高スループットを提供します。600mm径のウェーハで0。02ミクロンの再現性を備え、ウェーハを毎分30シフトまで動かすことができます。また、高速スキャンも可能で、8インチのウェーハを3分以内に1回スキャンすることができます。このツールの強力な解析ソフトウェアは、処理時間を改善し、ユーザー入力エラーを低減するために、統合されたユーザーインターフェイスで効率的なワークフローを提供します。また、ユーザーはインタラクティブな分析条件を定義し、測定結果を分析し、詳細なデータを報告することができます。さらに、ユーザーは、データ分析と比較機能を備えたカスタマイズされたグラフィカルおよび表形式レポートを提供する結果データベースにアクセスすることができます。全体として、KLA Aleris HXは、高精度、高スループット、ユーザーフレンドリーなワークフローを提供する強力なウェーハテストおよび計測資産です。基板、絶縁体、抵抗器など、さまざまな種類のウェーハを調査、特性評価するのに最適なモデルです。