中古 KLA / TENCOR Aleris HT #9380623 を販売中
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ID: 9380623
ウェーハサイズ: 12"
ヴィンテージ: 2005
Film thickness measurement system, 12"
SpectraFX 1000 HT
(2) Loadports with YASKAWA robot
With Hard Disc Drive (HDD)
2005 vintage.
KLA/TENCOR Aleris HTは最先端のウェハテストおよび計測機器で、高度なロボティクス、可視化、および測定機能を提供し、高性能なマイクロエレクトロニクス部品を製造します。これは、コストと時間を最小限に抑えながら、ウェーハの品質とスループットを最大化するためのさまざまなテストオプションとウェーハハンドリング機能を提供します。KLA Aleris HTは、スキャンされたスキャン形状と限られたスキャン形状の両方でのウェハテストをサポートし、複雑なサブミクロン機能のダイツダイおよびダイエッジ検査用のスキャン電子顕微鏡（SEM）を備えています。モジュラーシステムは、複数のウェーハを同時に検査できるため、ワークフローを柔軟にカスタマイズできます。TENCOR Aleris HTは、高速な検査速度と業界をリードする5速の検査スキャンオプションを備え、最大50％の高速ウェーハスループットを実現します。Aleris HTは、高度なテスト機能に加えて、ウェーハメトロロジーもサポートしています。これは、極端な高解像度イメージングを可能にするユニークなスキャン近距離光学顕微鏡を含み、ナノメートル精度でさまざまな重要な特徴を測定します。高度なスキャンキャパシタンス顕微鏡により、個々の相互接続構造上の静電容量、抵抗、およびその他の電気特性を測定できます。最後に、KLA/TENCOR Aleris HTには、ウェーハ構造のすべてのレベルの欠陥を上から下に自動的に検出して分離するように設計された、堅牢なウェーハ解析アルゴリズムのライブラリが含まれています。KLA Aleris HTのユーザーフレンドリーなインターフェースにより、オペレータはテストおよび計測操作を簡単に設定および監視できます。内蔵の内部監査証跡機能により、法医学分析の場合のトレーサビリティが保証されます。このマシンにはリモートアクセス機能も含まれており、中央の場所からテストおよび計測操作を制御および監視できます。要するに、TENCOR Aleris HTは、高度なロボティクス、可視化、測定機能を提供し、より高速なウェーハスループットとより高い精度で高品質のマイクロエレクトロニクス部品を製造する高度なオールインワンウェーハテストおよび計測ツールです。ユーザーフレンドリーなインターフェイス、堅牢な解析アルゴリズムのライブラリ、リモートアクセス機能を備えたAleris HTは、最高レベルの品質を確保しつつ、コストと時間の削減を実現します。
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