中古 KLA / TENCOR Aleris CX #9380621 を販売中
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ID: 9380621
ウェーハサイズ: 12"
ヴィンテージ: 2007
Film thickness measurement system, 12"
(3) Loadports with KAWASAKI robot
With Hard Disc Drive (HDD)
P/N: 020276-001
2007 vintage.
KLA/TENCOR Aleris CXは、半導体およびMEMS製造用に設計されたウェーハ試験および計測機器です。最新の光学およびX線イメージング技術を、欠陥レベルを低減し、歩留まりを向上させるための大容量プラットフォームに組み込んでいます。サイクルタイムを短縮し、生産スループットを向上させるのに役立ちます。KLA Aleris CXは、毎時数千枚のウェーハを検査できる600mm高速イメージングシステムを採用しています。デュアルヘッド構成と独自製品向けのオプションのマルチヘッドアーキテクチャにより、2次元（2D）情報収集機能を提供します。これにより、6台のカメラを独立して配置した4つのイメージング・ボリュームが得られます。さらに、イメージングマシンは簡単に調整可能であり、製造されたウェーハの表面の特徴とより深い地下の特徴をキャプチャすることができます。このツールは、検査および欠陥特性評価を実行するためにKLA独自のアルゴリズムを採用しています。これらのアルゴリズムにより、TENCOR Aleris CXは、高精度かつ高感度で、新興の欠陥と複数の故障モードを検出することができます。Aleris CXは、ウェーハ間ウェーハおよびウェーハ間レチクルのインラインプロセス相関の自動化にも役立ちます。ウェーハまたはプロセス全体で検査結果を比較し、プロセスエクスカーションと欠陥を迅速に特定できます。このアセットは、高速な画像キャプチャ、検出器の傾き測定、および高速欠陥ローカライズを提供します。また、詳細なプロファイル測定や詳細な3Dトポグラフィ分析を実行することもできます。さらに、KLA/TENCOR Aleris CXのX線イメージング機能により、ウエハーのパターン化されていない薄膜材料スタックを検出することができます。KLA Aleris CXは、直感的でユーザーフレンドリーなグラフィカルユーザーインターフェイス（GUI）を備えています。この直感的なインターフェイスは、柔軟なインテグレーションプロセスとモジュラーソフトウェアアーキテクチャと組み合わされ、製造メーカー向けの汎用性の高いウェーハテストソリューションを提供します。TENCOR Aleris CXは、高性能イメージングおよび計測機能を備えており、半導体製造やMEMS、バイオメディカルデバイス製造などの業界向けのウェハテストおよび歩留まり管理に最適です。このモデルは、市場投入までの時間を短縮し、プロセス制御を改善し、歩留まりを向上させることで、コスト削減を容易にすることができます。
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