中古 KLA / TENCOR Aleris CX #9315378 を販売中

KLA/TENCOR Aleris CXは、幅広い半導体デバイスの効率的な計測を提供するために特別に設計された先進的なウェーハ試験および計測機器です。この自動ウェーハテストおよび計測システムは、特に欠陥レビュー、高度なリソグラフィ、パラメトリックテスト、および歩留まり最適化の分野で、最大のスループットと高精度の測定結果で動作するように設計されています。このユニットはモジュール式で、検査機、計測ツール、機能比較アセットの3つの主要コンポーネントを統合しています。検査モデルは、高速欠陥検査、ウェーハ上の各種粉体の検査、CD、オーバーレイ、厚み、抵抗、平坦度の検査を全自動で行う装置です。また、自動および手動の欠陥レビューもサポートしています。ハイパワーイメージングオプティクス、非破壊コード用マルチビームレーザー散乱計、ウェハ識別用レーザー印刷を利用しています。計測システムは、CD、オーバーレイ、計測、抵抗、抵抗変化、平坦度などの高度な計測機能を提供します。高度なソフトウェアアルゴリズムを使用して、高精度な結果を提供します。また、スケーラブル性が高く、1回の実行で複数のウェーハを迅速に評価することができます。機能比較ユニットは、トランジスタデバイスの高速かつ正確な測定を提供する高度な計測機です。画像再構築アルゴリズムと物理モデルベースのシミュレーションを組み合わせて、トランジスタデバイスの特徴を解析します。このツールは、トランジスタデバイスのタイミングだけでなく、トンネル電流や漏れ電流などの他のトランジスタ機能を測定するように設計されています。KLA Aleris CXは、最高の精度と速度でさまざまな半導体デバイスを測定するための高度な試験および計測資産です。効率的な欠陥検査、マルチビームレーザー散乱計のサポート、高速かつ正確な機能比較を提供します。モジュラー性が高く、お客様のニーズに応じた各種部品のカスタマイズが容易です。