中古 KLA / TENCOR AIT #9389839 を販売中

KLA/TENCOR AITは、ウェーハ試験および計測機器であり、高度な半導体製造要件に対応する自動ウェーハ検査および計測システムです。これは、複数の自動ロボットツールを備えた金属フレームで構成されており、チャックテーブル上のウェーハの正確な向き、超音波洗浄、光学検査、および必要な計測を可能にします。システムには通常、レーザー干渉計と、デバイスの包括的な制御を可能にするソフトウェアパッケージが含まれています。レーザー干渉計は、ウェーハ表面の距離や位置の変化を測定するために使用されます。ウエハの厚さ、平坦度、表面粗さを最大1nmの精度で測定できます。このマシンには、高解像度カメラ、光学カメラ、レーザー、および照明を含む自動ビジョンツールも含まれており、パーソナライズされた検出のためにプログラムすることができます。クラック、インクルージョン、パーティクル、傷など、ウェーハ表面のあらゆる汚染や欠陥を検出できます。さらに、ウェーハ上のパターンの存在を検出し、詳細な相関を生成することができます。さらに、この資産には、自動サンプリングおよび画像取得と、歩留まり保証のための信頼性の高いデータポイントをもたらす独自の技術も含まれています。例えば、ウェーハで撮影した画像をあらかじめ定義されたパラメータと比較して、均一性と一貫性のレベルを決定することができます。さらに、このモデルにより、ユーザーは複数のプロセスを管理し、分析実験を行うことができます。これは、オペレータが高度なグラフィカル出力の助けを借りてウェーハの傾向と動作を分析することを可能にする包括的なデータ分析ツールを提供しています。また、最適な生産パフォーマンスを得るために調整する必要があるプロセスパラメータやその他の機器変数を特定するのに役立ちます。その柔軟性と能力により、KLA AITは半導体業界で広く受け入れられています。このシステムは、高速な自動検査およびデータ取得機能を提供することにより、生産率を大幅に向上させ、コストを削減します。さらに、1時間あたり最大800個のウェーハのスキャン速度で検査時間を大幅に短縮します。全体として、TENCOR AITは、半導体メーカーの生産性、品質、コスト効率の向上を支援する先進的なユニットです。自動化されたツールは、分析のための信頼性の高いデータポイントを提供し、ユーザーはプロセスの最適化を確実にするために即座に行動を起こすことができます。さらに、自動ビジョンマシンは、汚染や欠陥の詳細な分析を提供します。このツールは非常に信頼性が高く費用対効果が高く、検査時間を短縮し、優れたウェーハの歩留まりを向上させるのに役立ちます。