中古 KLA / TENCOR AIT #9379548 を販売中
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KLA/TENCOR AITは、複数の技術を組み合わせて製造中のウェーハをリアルタイムで立体的に監視するウェーハ試験および計測機器です。KLA AITシステムは、レーザメガプロービング、ダイバイダイメトロロジーと自動ビジョンシステムを組み合わせて、ウェーハ上の欠陥や材料の変化を検出および測定します。これにより、ウェーハは正確な仕様に従って製造され、ウェーハに問題がある場合は迅速に識別されます。ウェーハはプロセス全体を通して監視され、撮影した測定値は自動的に記録され、正確な評価と結果の報告が可能になります。このユニットは、ハードウェア、ソフトウェア、および独自のアルゴリズムの組み合わせを使用して、ウェーハを正確に評価するために必要な正確なデータをキャプチャします。TENCOR AITハードウェアは、単一のシャーシに収容されており、プログラム可能なレーザー、光学レンズとセンサー、および制御機械が含まれています。レーザーはウェーハを1ラインずつスキャンし、ウェーハの地形や表面特性を測定します。これは光学レンズとセンサーを介して行われ、各ラインの画像と測定をキャプチャします。独自のソフトウェアは、レーザーと光学レンズによって収集されたデータと情報を処理します。画像処理、解析、メモリセグメントで構成されており、正確な欠陥検出および材料分析に必要な正確なデータを識別およびパッケージ化します。ソフトウェアには、さまざまなパターン、形状、サイズを識別できるアルゴリズムも含まれており、特定のサーフェスフィーチャーに割り当てることができます。最後に、ウェーハのテストと計測データの全体が制御ツールを通じて収集され、分析されます。それは資産の頭脳であり、データが工場内の他のシステムと共有されるインターフェースです。制御モデルは、データの可視化と分析も可能であり、ウェハの表面特性と状態を詳細に把握することができます。AIT機器はウェーハメーカーにとって貴重なツールです。このシステムは、高品質の表面仕上げと規格に適合する正確な製品を保証するのに役立ちます。さらに、このユニットはオペレータの関与を最小限に抑え、効率を最大限に高めるように設計されており、ビジネスにコスト削減をもたらします。
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