中古 KLA / TENCOR AIT #9256108 を販売中

KLA/TENCOR AITは、高生産性半導体ウェーハ解析のための試験および検査技術を統合したウェーハ試験および計測機器です。このシステムは、2Dアーキテクチャと3Dアーキテクチャの両方で業界をリードするテスト速度と精密空間測定を可能にするように設計されています。KLA AITは、高度なアプリケーションと機能を組み合わせ、自動化されたアライメント、テスト検出、欠陥認識と分類、高精度の計測、相関解析を単一のプラットフォームで提供します。ウェーハテストユニットは、オフライン校正、高速および大型視野スキャン、信頼性の高い自動アライメント、統計プロセス制御、ウェーハとウェーハの相関、in-situテストなど、いくつかの重要な機能を組み合わせた単一モジュールで構成されています。直径300mmまでの大型ウェハに対応可能で、優れた欠陥検出精度で歩留まりを向上させます。その高度な試験技術は、ハイスループット欠陥検査とマルチセンサーの同時測定の両方を提供します。TENCOR AITツールは、簡単な操作のための直感的なグラフィカルユーザーインターフェイスを備えており、信頼性の高い堅牢なテストパフォーマンスのための強力なハードウェアを備えています。このアセットは、高精度の光学アライメントモデルを使用して、露光時間を短縮し、さまざまなセンシング技術におけるウェーハの自動アライメントを実現します。この機能により、すべてのテスト構成に対して一貫した精度と再現性のある測定が保証されます。さらに、複数のサンプルを同時に測定するための柔軟なグループ化が可能なように設計されており、試験スループットを高速化できます。また、インテリジェントな欠陥管理ソリューション、強化されたカメラシステム、より良い相関のためのアルゴリズム、および高度なウェハマッピング機能を備えています。AITは、最も微妙な欠陥を検出して分類することができ、顧客がウェーハ製造プロセスを最適化し、歩留まり向上を促進するのに役立ちます。このシステムは、高度なファブ操作の不可欠な部分であり、あらゆるアプリケーションで一貫したインプロセスウェーハ測定とテスト結果を提供します。さらに、ソフトウェアスイートは強力なデータ分析機能を提供し、テスト結果をリアルタイムで可視化します。これにより、お客様はプロセスの問題を簡単にトラブルシューティングし、プロセス全体のパフォーマンスを向上させることができます。