中古 KLA / TENCOR AIT #9252969 を販売中

KLA/TENCOR AITは、主に半導体業界で使用されるウェーハ試験および計測機器です。一連の自動光検査（AOI）システムと高度な計測ハードウェアとソフトウェアを組み合わせて、高速自動ウェハスキャン、分析、測定機能を提供します。このシステムは、大量のウェーハテストと計測用に設計されており、スループットの向上と市場投入までの時間の短縮を可能にします。KLA AITユニットには、自動試験装置（ATE）と統合光測定機（OMS）が組み合わされており、包括的な試験および計測機能を提供します。このツールの光学アセットは、欠陥を検出して正確に検出するだけでなく、小型のジオメトリデバイスを含むあらゆるタイプのトランジスタを測定するために使用されます。OMSには、ウェーハ全体に2つのµm分解能を提供できる高解像度カメラと、さまざまな光学検査および計測ツールが含まれています。TENCOR AITモデルには、自動化された試験および計測のためのパターン制御装置（PCS）も備えており、リアルタイムの欠陥、形状、サイズ、およびカラーデータを提供します。PCSの適応型応答技術により、より正確なアライメントとフィーチャー抽出が可能となり、歩留まりが大幅に向上しました。また、ウエハトラッキングユニット（WTS）を搭載し、OMSやPCSなどの技術を統合してウエハの動きを監視し、汚染を防ぎます。AITマシンのソフトウェアは、ツールのテストと計測機能に素早く簡単にアクセスできる、ユーザーフレンドリーなグラフィカルツールのセットを備えています。データ解析ツールが内蔵されており、結果をすばやく表示するだけでなく、欠陥の選択と分析を容易にするためのパターン識別ツールのセットも備えています。このアセットには、生産ライン診断、プロセス制御、プロセス最適化のための一連のウェーハ分析機能も含まれています。要するに、KLA/TENCOR AITは、スループットを向上させ、市場投入までの時間を短縮し、歩留まりを最大化するように設計された包括的なウェーハテストおよび計測モデルです。高度な計測ハードウェアとソフトウェアを備えた統合AOI機器を提供し、ナノスケールのトランジスタの自動テスト、分析、測定を可能にします。KLA AITシステムは、ユーザーフレンドリーなツールと組み込みデータ分析機能を備えており、半導体製造に効率的で費用対効果の高いオプションを提供します。