中古 KLA / TENCOR AIT #9239215 を販売中

KLA/TENCOR AIT （Adaptive Inspection Technology）は、KLAが開発したウェハテストおよび計測システムです。KLA AITは、スピードと精度を向上させた半導体ウェーハを検査し、定性的に特徴付けるように設計されています。このシステムは、高速独自の画像処理技術と自動電気テストを組み合わせて、非表示の生産歩留まりコンポーネントを検出します。TENCOR AITの主な目標は、ウェーハの歩留まりを減少させる非表示の障害を減らすことです。AITは、ウェーハの微細構造の詳細な検査に使用するための「サードアイ」と呼ばれることがよくあります。高度なソフトウェアアルゴリズムを使用して、歩留まりを減らす最小の目に見えない欠陥を見つけます。機械の内蔵マシンビジョンは、表面トポロジーと均一性を検査するためにウェーハの画像をキャプチャする高度なセンサーの配列で構成されています。これらの画像は、特徴、粒子分布、動的欠陥などの寸法パラメータの変動を非常に高速で検出するために解析されます。このシステムは、マクロ検査中に結合された電気試験とウェーハ表面の画像を組み合わせることができる点でユニークです。一般的に、KLA/TENCOR AITは、最新式の計測と欠陥イメージング機能を備えたイメージングを提供します。これにより、ウェーハの歩留まりを減らすことができる最小の欠陥を見つけることができます。KLA AITは、革新的なスキャン、プロービング、およびテスト機能により、最大10ミクロンの分解能で生産歩留まり欠陥を迅速に検出および特定できます。また、線幅、フィーチャーハイト、ゲートエリアなどの重要な寸法を特定して測定し、高収量の製品を確保することもできます。全体として、TENCOR AITは半導体製造スペースの企業に品質管理の強化と歩留まりの改善を提供しています。最小限の目に見えない欠陥を検出、分離、特定することができ、企業が半導体業界の競争力を維持するのに役立ちます。高度なイメージングとプロービング機能を備えたAITは、半導体業界の企業にとって信頼性が高く、不可欠なツールです。