中古 KLA / TENCOR AIT #72571 を販売中

KLA/TENCOR AITは、半導体デバイスの物理特性を測定するプロセスを自動化するウェーハ試験および計測機器です。このシステムは、1時間あたり最大2000個のウェーハをスキャンすることができ、高速で信頼性の高い分析を提供します。高速レーザー計測装置とピコ秒の制御装置を駆使し、精度0。1ミクロンの精度で精密な測定±行います。このツールは多数のコンポーネントで構成されており、ウェーハの表面をスキャンしながらリアルタイムデータの非接触測定を組み込むことができます。これには、資産のプラットフォームであるX-Yステージが含まれ、正確な位置決めでウェーハを横切ることができます。レーザー計測ヘッドは、地形の変化やピコ秒の制御モデルを検出するために使用されます。正確な測定は、高さ、変動、幅、平面の4つの異なるチャネルを利用することによって得られます。KLA AIT装置は、他のウェーハテストシステムとは異なり、高解像度カメラ、最適な光学系、ウェーハ認識のための独自のアルゴリズムであり、測定エラーを最小限に抑えます。ソルダーボールやデバイスサイドウォールなどの主要測定の精度をチェックするための校正および検証測定が組み込まれています。TENCOR AITシステムは、包括的な測定機能とは別に、高速、非破壊検査、自動化されたプロセス制御も備えています。これにより、エンジニアと製造スタッフは、デバイスを正確かつ正確に測定するために必要なツールを提供すると同時に、変更する必要があるプロセスパラメータを調整することができます。全体として、AITユニットは革新的なウェーハテストおよび計測機械であり、これまでにない速度で高速かつ正確な測定を提供します。1時間あたり最大2000個のウェーハをスキャンでき、デバイスを正確に測定し、パラメーターを調整するために必要なツールを技術者に提供します。この最先端テクノロジーにより、市場投入までの時間を短縮しながら、常に正確で信頼性の高い数値を提供します。